Reaktive Ionenätzanlage mit induktiv gekoppeltem Plasma (RIE ICP)
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80539
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.physik.uni-muenchen.de
Abschnitt II: Gegenstand
Reaktive Ionenätzanlage mit induktiv gekoppeltem Plasma (RIE ICP)
Lieferung einer reaktiven Ionenätzanlage mit induktiv gekoppeltem Plasma (RIE ICP), Ludwig-Maximilians-Universität München
Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung einer reaktiven Ionenätz-anlage (RIE) mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) zum Trockenätzen verschiedener Mate-rialien, wie zum Beispiel Polymere, Silizium, Siliziumnitrid oder Siliziumdioxid. Im Besonde-ren sollen jedoch zweidimensionale Materialien wie Graphen oder hexagonales Bornitrid geätzt werden.
Reaktive Ionenätzanlagen sind unverzichtbare Geräte für die Nanofabrikation. Im genauen wird nach erfolgter Strukturierung eines auf die Schicht aufgebrachten Polymerfilms mittels Elektronenstrahllitographie diese Struktur durch einen trockenen Ätzprozess in das ge-wünschte Material übertragen. Alternativ kann auch eine metallische Maskierung verwen-det werden. Im Rahmen der Munich Quantum Valley Initiative wird der Lehrstuhl Efetov, Ludwig-Maximilians-Universität München, Fakultät für Physik, eine Vielzahl neuartiger zwei-dimensionaler Materialien herstellen und diese auf ihre elektrischen, magnetischen und optischen Eigenschaften bei kryogenen Temperaturen untersuchen.
Um bei den zu ätzenden zweidimensionalen Materialen mit einer Dicke zwischen 1- 30 Na-nometern eine exakte Ätztiefe reproduzierbar realisieren zu können ist es unbedingt erfor-derlich, dass die Ätzanlage äußerst schädigungsarm mit geringen Ätzraten arbeitet kann. Da verschiedene Materialien geätzt werden sollen ist es ebenfalls notwendig, dass verschiedene Prozessgase verwendet werden können. Neben dem schädigungsarmen Ätzen soll die Anlage insbesondere im Hinblick auf die potentiell große Anzahl an Nutzern mit breit gestreuten Forschungsbereichen im Rahmen der Munich Quantum Valley Initiative ebenso für hohe Ätzraten ausgelegt sein.
Die detaillierten Spezifikationen sind in der Leistungsbeschreibung ausgeführt.
Optisches Emissionsspektrometer
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Nationale Identifikationsnummer: DE128244113
Ort: Krailling
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 82152
Land: Deutschland
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80538
Land: Deutschland
Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:
(1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen.
(2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Abgabe der Bewerbung oder der Angebote gegenüber dem Auftraggeber zu rügen.
(3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 3 GWB spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbungs- oder Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen.
(4) Ein Vergabenachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB innerhalb von 15 Kalendertagen nach der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der Vergabekammer einzureichen.