Thermischer und Elektronenstrahl-Verdampfer - PR202810 - 2790 - W Referenznummer der Bekanntmachung: PR202810 - 2790 - W
Auftragsbekanntmachung
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/
Abschnitt II: Gegenstand
Thermischer und Elektronenstrahl-Verdampfer - PR202810 - 2790 - W
Thermischer und Elektronenstrahl-Verdampfer
TU Bergakademie Freiberg, Institut für Angewandte Physik
Leipziger Strasse 23
09599 Freiberg
Deutschland
1 Stück
Für das Aufdampfen von metallischen Dünnschichten im Hochvakuum wird ein Metallverdampfer benötigt, der sowohl mittels thermischer Verdampfung als auch mittels Elektronenstahl-Verdampfung arbeiten kann. Die thermische Verdampfereinheit soll zwei Quellen besitzen und eine elektrische Nennleistung von mindestens 2 kW aufweisen, so dass auch hochschmelzende Metalle wie z.B. Nickel oder Palladium thermisch verdampft werden können. Der Elektronenstahl-Verdampfer soll eine Leistung von mindestens 3 kW haben und das Aufdampfen aller typischen Metalle (inklusive z.B. Platin) ermöglichen. Diese Einheit soll 4 verschiedene Tiegel zu je 8 cm³ Volumen zur Verfügung stellen, die motorisiert während eines Prozesses ausgewählt werden können.
Optionen:
O1.7: Elektronenstrahlverdampfer mit Platz für 6 Tiegel à 4 cm3, motorisierter Tiegelpositionierung, elektro-pneumatischer Verdampferblende und Hochspannungsnetzgerät mit mindestens 3 kW Leistung inklusive Steuereinheit
O4.1: Zweiter Satz Edelstahl-Abschirmbleche zur Vermeidung unerwünschter Beschichtungen der Innenwände
O4.2: Schiffchen/Tiegel für die thermische Quellen, geeignet für die Abscheidung von Al, Au und Ni
O4.3: Tiegel für die Elektronenstrahlquelle (Wolfram, Kohlenstoff, Intermetallisch)
O4.4: Quarzkristalle für die Schichtdickenmessung
O8.2: Eine Preisinformation für eine jährliche Wartung ist dem Angebot beizulegen.
O8.3: Der Abschluss eines Wartungsvertrages bleibt unabhängig von der Zuschlagserteilung optional.
O4.1
Zweiter Satz Edelstahl-Abschirmbleche zur Vermeidung unerwünschter Beschichtungen der Innenwände
O4.2
Schiffchen/Tiegel für die thermische Quellen, geeignet für die Abscheidung von Al, Au und Ni
O4.3
Tiegel für die Elektronenstrahlquelle (Wolfram, Kohlenstoff, Intermetallisch)
O4.4
Quarzkristalle für die Schichtdickenmessung
O1.7
Elektronenstrahlverdampfer mit Platz für 6 Tiegel à 4 cm3, motorisierter Tiegelpositionierung, elektro-pneumatischer Verdampferblende und Hochspannungsnetzgerät mit mindestens 3 kW Leistung inklusive Steuereinheit
O8.2
Eine Preisinformation für eine jährliche Wartung ist dem Angebot beizulegen.
O8.3
Der Abschluss eines Wartungsvertrages bleibt unabhängig von der Zuschlagserteilung.
Mittel aus STAATSMINISTERIUM FÜR WISSENSCHAFT, KULTUR UND TOURISMUS
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben
Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-184f10dedaf-435c21230e7c8d8
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Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-184f10dedaf-435c21230e7c8d8
Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Abschnitt IV: Verfahren
entfällt
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de