Öffentliche Ausschreibung München 2022 Gas phase etcher - PR179858-3340-W ksp Referenznummer der Bekanntmachung: PR179858-3340-W ksp 2022-12-12

Gas phase etcher - PR179858-3340-W ksp Referenznummer der Bekanntmachung: PR179858-3340-W ksp

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers

Andere: Research Society e. V.

I.5)Haupttätigkeit(en)

Andere Tätigkeit: Research and Development

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung

II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Gas phase etcher - PR179858-3340-W ksp

Referenznummer der Bekanntmachung: PR179858-3340-W ksp

II.1.2)CPV-Code Hauptteil

42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

II.1.3)Art des Auftrags

Lieferauftrag

II.1.4)Kurze Beschreibung:

Gas phase etcher

II.1.6)Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)

Wert ohne MwSt.: [Betrag gelöscht] EUR

II.2)Beschreibung

II.2.3)Erfüllungsort

NUTS-Code: DED41 Chemnitz, Kreisfreie Stadt

Hauptort der Ausführung:

ENAS

Technologie-Campus 3

9126 Chemnitz

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

1 pc of Gas phase etcher with options: 5. Transfer Station and Cassette load-unload Station: 5.4 Wafer edge handling for both wafer sizes 5.6 Cassette type 200 mm for thick bonded wafers 10. Table with cassette / wafer specification: 11.1.6 Processing of glass wafers according to above mentioned specs 11.2.6 Processing of glass wafers according to above mentioned specs (for "thick bonded wafers") 11.3.6 Processing of glass wafer (for 150 mm wafers) 11.1 Dry vacuum pumps for each module from supplier Pfeiffer Xerics Chamber with remote plasma (speci-fy pumping type) Heating/cooling chamber (specify pumping type) Transfer station / cassette load station (specify pumping type) 11.2 Delivery of set of consumable parts (o-rings, valves, etc.) to cover the warranty period 11.3 End of warranty inspection and maintenance 11.4 Maintenance contract for 2 years with 1 week/32h once every year. Please enclose sample contract. 11.5 Maintenance training - 2 weeks for a maximum of 2 engineers (3x3 days onsite at Fraunhofer ENAS) 11.6 Process Training, 2 weeks for a maximum of 2 engineers (onsite at Fraunhofer ENAS) 13. Warranty - 12 month renewal

II.2.5)Zuschlagskriterien

Preis

II.2.11)Angaben zu Optionen

Optionen: ja

Beschreibung der Optionen:

5. Transfer Station and Cassette load-unload Station: 5.4 Wafer edge handling for both wafer sizes 5.6 Cassette type 200 mm for thick bonded wafers 10. Table with cassette / wafer specification: 11.1.6 Processing of glass wafers according to above mentioned specs 11.2.6 Processing of glass wafers according to above mentioned specs (for "thick bonded wafers") 11.3.6 Processing of glass wafer (for 150 mm wafers) 11.1 Dry vacuum pumps for each module from supplier Pfeiffer Xerics Chamber with remote plasma (speci-fy pumping type) Heating/cooling chamber (specify pumping type) Transfer station / cassette load station (specify pumping type) 11.2 Delivery of set of consumable parts (o-rings, valves, etc.) to cover the warranty period 11.3 End of warranty inspection and maintenance 11.4 Maintenance contract for 2 years with 1 week/32h once every year. Please enclose sample contract. 11.5 Maintenance training - 2 weeks for a maximum of 2 engineers (3x3 days onsite at Fraunhofer ENAS) 11.6 Process Training, 2 weeks for a maximum of 2 engineers (onsite at Fraunhofer ENAS) 13. Warranty - 12 month renewal

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung

IV.1.1)Verfahrensart

Auftragsvergabe ohne vorherige Bekanntmachung eines Aufrufs zum Wettbewerb im Amtsblatt der Europäischen Union (für die unten aufgeführten Fälle)

Die Bauleistungen/Lieferungen/Dienstleistungen können aus folgenden Gründen nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden:
- nicht vorhandener Wettbewerb aus technischen Gründen

Erläuterung:

Patent US8,679,354; Patent GB2487716 is sheltered;

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2)Verwaltungsangaben

IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 1

Bezeichnung des Auftrags:

Gas phase etcher

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

V.2)Auftragsvergabe

V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses:

07/12/2022

V.2.2)Angaben zu den Angeboten

Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 1

Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Livingston
NUTS-Code: UKC North East (England)
Postleitzahl: EH54 7BN
Land: Vereinigtes Königreich
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]

Der Auftragnehmer ist ein KMU: ja

V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.)

Gesamtwert des Auftrags/Loses: [Betrag gelöscht] EUR

V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland

VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:

07/12/2022

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