Öffentliche Ausschreibung Neubiberg 2022 Trockenchemische Ätzanlage (RIE) Referenznummer der Bekanntmachung: M/HSB1/MT741/EIT2.1

Trockenchemische Ätzanlage (RIE) Referenznummer der Bekanntmachung: M/HSB1/MT741/EIT2.1_MP

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Neubiberg
NUTS-Code: DE21H München, Landkreis
Postleitzahl: 85577
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.evergabe-online.de/

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers

Ministerium oder sonstige zentral- oder bundesstaatliche Behörde einschließlich regionaler oder lokaler Unterabteilungen

I.5)Haupttätigkeit(en)

Andere Tätigkeit: Lehre und Forschung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung

II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Trockenchemische Ätzanlage (RIE)

Referenznummer der Bekanntmachung: M/HSB1/MT741/EIT2.1_MP

II.1.2)CPV-Code Hauptteil

42000000 Industrielle Maschinen

II.1.3)Art des Auftrags

Lieferauftrag

II.1.4)Kurze Beschreibung:

Auftragsgegenstand ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Trockenchemischen Ätzanlage (RIE) inkl. Schulung

II.1.6)Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.2)Beschreibung

II.2.3)Erfüllungsort

NUTS-Code: DE21H München, Landkreis

Hauptort der Ausführung:

Neubiberg

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Die Universität der Bundeswehr plant im Rahmen des DTEC Projekts die Beschaffung einer trockenchemischen Ätzanlage (einer RIE (reaktive ion etch) Anlage). Dabei wird ein erprobtes System gesucht, welches zur Ätzung von dielektrischen Schichten (z.B. Siliziumnitrid, Siliziumoxid, Polymere und Fotolacke) und von Silizium geeignet ist. Die zu ätzenden Schichten befinden sich dabei auf Siliziumsubstraten. Substratformate sind hier vorwiegend Wafer mit den Durchmessern 100 mm, 150 mm und 200 mm; es sollen aber auch kleinere Formate und Bruchstücke in der Anlage geätzt werden. Es werden auch doppelseitig polierte Wafer prozessiert. Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung.

II.2.5)Zuschlagskriterien

Preis

II.2.11)Angaben zu Optionen

Optionen: ja

Beschreibung der Optionen:

Siehe Leistungsbeschreibung. Die Anlage muss mit einem in die Software integrierbaren Laserinterferometer-System nachrüstbar sein - bestehend aus Lichtquelle (670nm, x-y Tisch und Eintrittsfenster (>= 25 mm)). Der Preis für das System ist als Option im Angebot anzugeben.

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung

IV.1.1)Verfahrensart

Offenes Verfahren

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2)Verwaltungsangaben

IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren

Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2022/S 185-523312

IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: nein

V.1)Information über die Nichtvergabe

Der Auftrag/Das Los wird nicht vergeben

Es sind keine Angebote oder Teilnahmeanträge eingegangen oder es wurden alle abgelehnt

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse: https://www.bundeskartellamt.de

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:

16/11/2022

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