PE-ALD Anlage Technische Physik 2022 Referenznummer der Bekanntmachung: 2022000359
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Würzburg
NUTS-Code: DE263 Würzburg, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 97070
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.uni-wuerzburg.de
Abschnitt II: Gegenstand
PE-ALD Anlage Technische Physik 2022
Im Rahmen des vorliegenden Vergabeverfahrens vergibt der Freistaat Bayern (Auftraggeber) – hier vertreten durch die Julius-Maximilians-Universität Würzburg – die Beschaffung einer PE-ALD-Anlage für den Lehrstuhl für Technische Physik an der Julius-Maximilians-Universität Würzburg gemäß dem Leistungsverzeichnis des Verfahrens.
Im Rahmen des vorliegenden Vergabeverfahrens vergibt der Freistaat Bayern (Auftraggeber)
– hier vertreten durch die Julius-Maximilians-Universität Würzburg – die Beschaffung einer PEALD-
Anlage für den Lehrstuhl für Technische Physik an der Julius-Maximilians-Universität
Würzburg gemäß dem Leistungsverzeichnis des Verfahrens.
Abschnitt IV: Verfahren
- Die Bauleistungen/Lieferungen/Dienstleistungen können aus folgenden Gründen nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden:
- nicht vorhandener Wettbewerb aus technischen Gründen
Für die Erfüllung der Projektarbeiten im Teilprojekt zu QR.X ist die Anschaffung einer Plasma Enhanced-
Atomic Layer Deposition (PEALD) Anlage zwingend notwendig. Diese muss die folgenden Eigenschaften und
Spezifikationen aufweisen:
1. Das System muss über min. 6 Präkursorenlinien verfügen und über 4 Plasmalinien.
2. Es müssen Wasserstoff, Stickstoff, Sauerstoff und Argon Plasma verwendbar sein und alle relevanten
Sicherheitsaspekte eingehalten werden.
3. Das System muss mindestens die folgenden Materialien abscheiden können: Al2O3, HfO2, SiO2, SiN, TiN,
TiO2, NbTiN.
4. Das System muss eine voll integrierte und automatische Load-Lock besitzen, um höchste Prozessstabilität
und Variabilität zu gewährleisten. Die Load-Lock muss separat gepumpt werden können.
5. Die Uniformität über einen 200 mm Wafer darf dabei für die folgenden Materialien nicht größer als: Al2O3,
≤2% - HfO2, ≤3% - TiN, ≤4% sein.
6. Das PEALD System darf dabei keine beweglichen Teile über der Waferposition besitzen, so dass keine
residualen Materialen die Probequalität kontaminieren können.
7. Das Plasma muss über eine ICP Quelle erzeugt werden, welches zudem außerhalb der Reaktionskammer
erzeugt werden muss, um Schäden durch energetische Ionen auf den Proben zu minimieren.
8. Ein solches System muss bereits erfolgreich ausgeliefert und abgenommen sein.
Nur die Anlage "Fiji G2" der Firma Veeco GmbH kann alle für die Forschung zwingend notwendigen
Spezifikationen erfüllen.
Abschnitt V: Auftragsvergabe
PE-ALD Anlage Technische Physik 2022
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Aschheim
NUTS-Code: DE21H München, Landkreis
Postleitzahl: 85609
Land: Deutschland
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Ansbach
Postleitzahl: 91522
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens ist unzulässig, soweit nicht nach
Maßgabe des § 160 Abs. 3 GWB Verstöße gegen Vergabevorschriften innerhalb der in § 160
Abs. 3 Nrn. 1 – 3 GWB genannten Fristen gerügt worden sind.
Die Julius-Maximilians-Universität Würzburg wird schriftlich mitteilen, ob einer Rüge
abgeholfen wird.
Wird einer Rüge nicht abgeholfen, so ist ein Antrag auf Einleitung eines
Nachprüfungsverfahrens unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der
Mitteilung der Julius-Maximilians-Universität Würzburg, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,
vergangen sind. Der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens ist schriftlich bei der
Vergabekammer (s. Nr. 9) einzureichen und unverzüglich zu begründen.
Sofortige Beschwerde (§ 171 GWB)
Gegen Entscheidungen der Vergabekammer ist die sofortige Beschwerde zulässig (§ 171 Abs.
1 GWB). Die sofortige Beschwerde ist auch zulässig, wenn die Vergabekammer über einen
Nachprüfungsantrag nicht innerhalb der Frist des § 167 Abs. 1 GWB entschieden hat (§ 167Abs. 2 GWB).
Die sofortige Beschwerde ist binnen einer Notfrist von zwei Wochen, die mit der
Zustellung der Entscheidung, im Fall des § 167 Abs. 2 GWB mit dem Ablauf der Frist beginnt,
schriftlich bei dem Beschwerdegericht einzulegen. Die sofortige Beschwerde ist zugleich mit
ihrer Einlegung zu begründen. Für die sofortige Beschwerde ist das Oberlandesgericht
München – Vergabesenat zuständig, der darüber entscheidet.
Auf die Präklusionsvorschrift des § 160 Abs. 3 GWB wird hingewiesen.
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Würzburg
Postleitzahl: 97070
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]