Reaktives Ionenätzsystem, Deep-RIE Referenznummer der Bekanntmachung: TUM-E23-2022-4
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2022-08-17
Bayern
Garching bei München
Bayern
Garching bei München
2022-08-17
Bayern
Garching bei München
CPV: 38000000-5
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
CPV: 31640000-4
Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion