Öffentliche Ausschreibung Garching bei München 2022 Reaktives Ionenätzsystem, Deep-RIE Referenznummer der Bekanntmachung: TUM-E23-2022-4 2022-08-17

Reaktives Ionenätzsystem, Deep-RIE Referenznummer der Bekanntmachung: TUM-E23-2022-4

Auftragsbekanntmachung

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Garching
NUTS-Code: DE21H München, Landkreis
Postleitzahl: 85478
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.wmi.badw.de

I.3)Kommunikation

Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YZ8RW1T/documents

Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen

Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YZ8RW1T

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers

Einrichtung des öffentlichen Rechts

I.5)Haupttätigkeit(en)

Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung

II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Reaktives Ionenätzsystem, Deep-RIE

Referenznummer der Bekanntmachung: TUM-E23-2022-4

II.1.2)CPV-Code Hauptteil

38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

II.1.3)Art des Auftrags

Lieferauftrag

II.1.4)Kurze Beschreibung:

Reaktives Ionenätzsystem (Deep-RIE)

II.1.5)Geschätzter Gesamtwert

II.1.6)Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.2)Beschreibung

II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)

31640000 Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion

II.2.3)Erfüllungsort

NUTS-Code: DE21H München, Landkreis

Hauptort der Ausführung:

Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM Walther-Meißner-Str. 8 85478 Garching

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Die TU München - Lehrstuhl für Technische Physik E23/WMI plant ein Deep Reactive Ion Etching (RIE) System für die Herstellung von integrierten Quantenschaltungen zu beschaffen. Das System soll in der Lage sein, tiefe Strukturen in Silizium mit glatten Oberflächen und hohen Aspektverhältnissen zu ätzen, wie sie für die Herstellung von Silizium-Durchkontaktierungen und MEMS benötigt werden. Das Gerät soll diese Anforderungen durch einen Bosch-Prozess abdecken und auch einen Kryo-Prozess ermöglichen. Dies erfordert die Durchführung einer Kombination von Ätzprozessen und Prozessüberwachungsmöglichkeiten, um die reproduzierbare Herstellung von Bauteilen höchster Qualität zu ermöglichen.

Ausschlusskriterien hinsichtlich der technischen Spezifikationen sind in der Leistungsbeschreibung angegeben.

II.2.5)Zuschlagskriterien

Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt

II.2.6)Geschätzter Wert

II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems

Laufzeit in Monaten: 12

Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein

II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote

Varianten/Alternativangebote sind zulässig: ja

II.2.11)Angaben zu Optionen

Optionen: ja

Beschreibung der Optionen:

siehe Leistungsbeschreibung

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben

III.1)Teilnahmebedingungen

III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister

Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen:

Folgende Eigenerklärungen und Dokumente sind mit dem Angebot einzureichen:

-Eigenerklärung (gemäß § 123 Abs. 1-3 GWB), dass keine Person, deren Verhalten dem Unternehmen des Bieters zuzurechnen ist, rechtskräftig verurteilt oder gegen das Unternehmen eine Geldbuße nach § 30 des Gesetzes über Ordnungswidrigk. rechtskräftig festgesetzt worden ist, jeweils wegen einer Straftat nach:

- § 129 des Strafgesetzbuchs (Bildung krimineller Vereinigungen), § 129a des Strafgesetz-buchs (Bildung terroristischer Vereinigungen) oder § 129b des Strafgesetzbuchs (Kriminelle und terroristische Vereinigungen im Ausland),

- § 89c des Strafgesetzbuchs (Terrorismusfinanzierung) oder wegen d. Teilnahme an einer solchen Tat oder wegen d. Bereitstellung o. Sammlung fin. Mittel in Kenntnis dessen, dass diese finanziellen Mittel ganz oder teilweise dazu verwendet werden oder verwendet werden sollen, eine Tat nach § 89a Absatz 2 Nummer 2 des Strafgesetzbuchs zu begehen,

- § 261 des Strafgesetzbuchs (Geldwäsche; Verschleierung unrechtmäßig erlangter Vermögenswerte),

- § 263 des Strafgesetzbuchs (Betrug), soweit sich die Straftat gegen den Haushalt der EU oder gegen Haushalte richtet, die von der EU oder in ihrem Auftrag verwaltet werden,

- § 264 des Strafgesetzbuchs (Subventionsbetrug), soweit sich die Straftat gegen den Haushalt der EU oder gegen Haushalte richtet, die von der EU oder in ihrem Auftrag verwaltet werden,

- § 299 des Strafgesetzbuchs (Bestechlichkeit und Bestechung im geschäftlichen Verkehr),

- § 108e des Strafgesetzbuchs (Bestechlichkeit und Bestechung von Mandatsträgern),

- den §§ 333 und 334 des Strafgesetzbuchs (Vorteilsgewährung und Bestechung), jeweils a. in Verbindung mit § 335a des Strafgesetzbuchs (Ausländische und internationale Bedienstete),

- Artikel 2 § 2 des Gesetzes zur Bekämpfung internat. Bestechung (Bestechung ausl. Abgeordneter im Zusammenhang mit internat. Geschäftsverkehr) oder

- den §§ 232 und 233 des Strafgesetzbuchs (Menschenhandel) oder § 233a des Strafgesetzbuchs (Förderung des Menschenhandels).

- Eigenerkl., dass der Bieter seiner Verpflichtung zur Zahlung von Steuern, Abgaben sowie der Beiträge zur Sozialversicherung nachgekommen ist (§ 123 Abs. 4 GWB).

- Eigenerkl. (gemäß § 124 Abs. 1 Nrn. 1-4, 7 GWB), dass

- weder das Unt. des Bieters noch eine Person, deren Verhalten dem Unternehmen zuzurechnen ist, bei der Ausführung öff. Aufträge gegen geltende umwelt-, sozial- oder arbeitsrechtliche Verpfl. verst. hat,

- das Unternehmen des Bieters nicht zahlungsunfähig ist/sind, über das Vermögen des Unternehmen kein Insolvenzverf. oder ein vergleichbares Verf. beantragt oder eröffnet worden ist, die Eröffnung eines solchen Verfahrens mangels Masse nicht abge-lehnt worden ist, und sich das Unternehmen nicht im Verfahren der Liquidation befindet oder seine Tätigkeit eingestellt hat,

- weder das Unternehmen noch eine Person, deren Verhalten dem Unt. zuzurechnen ist, im Rahmen der berufl. Tätigkeit eine schwere Verfehlung begangen hat, durch die die Integrität d. Unternehmens infrage gestellt wird,

- weder das Unt. noch eine Person, deren Verhalten dem Unt. zuzurechnen ist, Vereinb. mit anderen Unternehmen getroffen hat, die eine Verhinderung, Einschränkung oder Verfälschung des Wettbewerbs bezwecken oder bewirken,

- das Unternehmen nicht eine wesentliche Anforderung bei der Ausf. eines früheren öff. Auftrags o. Konzessionsvertrags erheblich oder fortd. mangelh. erfüllt hat und dies zu einer vorzeitigen Beendigung, zu Schadensersatz oder zu einer vergleichb. Rechtsf. geführt hat.

-Eigenerklärung zum Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach § 21 Abs. 1 Nrn. 1-4 SchwarzArbG

- Eigenerkl. ü. Mitgliedschaft in einer Berufsgenossenschaft oder einer Berufsgen. oder einer vergleichbaren Unfallvers. d. Herkunftsl. d. Bieters

- Eigenerkl. ü. d. Eintr. i. d. Berufs- o. Handelsregister. o. e. vergl. Reg. d. Herkunftsst. d. Bieters.

III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit

Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

Folgende Eigenerklärung ist mit dem Angebot einzureichen:

Eigenerklärung zum Umsatz des Unternehmens in EUR netto jeweils in den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, soweit er Leistungen betrifft, die mit der zu vergebenden Leistung vergleichbar sind unter Einschluss des Anteils bei gemeinsam mit anderen Unternehmen ausgeführten Leistungen

III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit

Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

Folgende Eigenerklärung ist mit dem Angebot einzureichen:

Eigenerklärungen über mindestens drei vergleichbare Referenzen des Bieters aus den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, jeweils mit Angabe der Leistung, des Leistungszeitraums, des Auftragswerts und des Auftraggebers (mit Ansprechpartner und Telefonnr.).

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung

IV.1.1)Verfahrensart

Offenes Verfahren

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2)Verwaltungsangaben

IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge

Tag: 19/09/2022

Ortszeit: 12:00

IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber

IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können:

Deutsch, Englisch

IV.2.6)Bindefrist des Angebots

Das Angebot muss gültig bleiben bis: 08/11/2022

IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote

Tag: 19/09/2022

Ortszeit: 12:01

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags

Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein

VI.3)Zusätzliche Angaben:

Bekanntmachungs-ID: CXP4YZ8RW1T

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80538
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse: https://www.regierung.oberbayern.bayern.de/

VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren

VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen

Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:

Gemäß § 160 Abs. 3 Satz 1 GWB ist ein Nachprüfungsantrag unzulässig, soweit

- der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Abs. 2 GWB bleibt unberührt,

- Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

- Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

- mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht ab-helfen zu wollen, vergangen sind.

§ 160 Abs. 3 Satz 1 GWB gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Abs. 1 Nr. 2 GWB. § 134 Abs. 1 Satz 2 GWB bleibt unberührt.

Gemäß § 135 Abs. 2 Satz 1 GWB kann die Unwirksamkeit nach § 135 Abs. 1 GWB nur festgestellt werden, wenn sie im Nachprüfungsverfahren innerhalb von 30 Kalendertagen nach der Information der betroffenen Bieter und Bewerber durch den öffentlichen Auftraggeber über den Abschluss des Vertrags, jedoch nicht später als sechs Monate nach Vertragsschluss geltend gemacht worden ist. Hat der Auftraggeber die Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union bekannt gemacht, endet die Frist zur Geltendmachung der Unwirksamkeit 30 Kalendertage nach Veröffentlichung der Bekanntmachung der Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union.

VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:

12/08/2022

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