Electron Beam Lithography System Referenznummer der Bekanntmachung: 024/2022
Berichtigung
Bekanntmachung über Änderungen oder zusätzliche Angaben
Lieferauftrag
(Supplement zum Amtsblatt der Europäischen Union, 2022/S 146-417230)
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EUAbschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber/Auftraggeber
I.1)Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Ort: Garching
NUTS-Code: DE21H München, Landkreis
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.tum.de
Ort: Garching
NUTS-Code: DE21H München, Landkreis
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.tum.de
Abschnitt II: Gegenstand
II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:
Electron Beam Lithography System
Referenznummer der Bekanntmachung: 024/2022
II.1.2)CPV-Code Hauptteil
38511100 Rasterelektronenmikroskope
II.1.3)Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:
This call for tender is for the purchase of an electron beam lithography system for the nanofabrication of devices, chips, structures and patterns required for research purposes. The system must be able to expose electron-sensitive resists in specific CAD designed patterns. We require a turn-key solution including all required hardware, software and peripheral devices necessary for system operation. For a more detailled overview of our required specifications we refer you to the Performance Specifications document.
Abschnitt VI: Weitere Angaben
VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
04/08/2022
Abschnitt VII: Änderungen
VII.1)Zu ändernde oder zusätzliche Angaben
VII.1.2)In der ursprünglichen Bekanntmachung zu berichtigender Text
Abschnitt Nummer: IV.2.2
Stelle des zu berichtigenden Textes: Date has been corrected to 05.09.2022
Anstatt:
Tag: 01/09/2022
Ortszeit: 23:59
muss es heißen:
Tag: 05/09/2022
Ortszeit: 23:59
VII.2)Weitere zusätzliche Informationen: