PE-ALD Anlage Technische Physik 2022
Freiwillige Ex-ante-Transparenzbekanntmachung
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber/Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Würzburg
NUTS-Code: DE263 Würzburg, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 97070
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.uni-wuerzburg.de/startseite/
Abschnitt II: Gegenstand
PE-ALD Anlage Technische Physik 2022
Kauf einer PE-ALD Anlage
Im Rahmen des vorliegenden Vergabeverfahrens vergibt der Freistaat Bayern (Auftraggeber) – hier vertreten durch die Julius-Maximilians-Universität Würzburg – die Beschaffung einer PE-ALD Anlage für den Lehrstuhl für Technische Physik an der Julius-Maximilians-Universität Würzburg.
Abschnitt IV: Verfahren
- Die Bauleistungen/Lieferungen/Dienstleistungen können aus folgenden Gründen nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden:
- nicht vorhandener Wettbewerb aus technischen Gründen
Für die Erfüllung der Projektarbeiten im Teilprojekt zu QR.X ist die Anschaffung einer Plasma Enhanced-Atomic Layer Deposition (PEALD) Anlage zwingend notwendig. Diese muss die folgenden Eigenschaften und Spezifikationen aufweisen:
1. Das System muss über min. 6 Präkursorenlinien verfügen und über 4 Plasmalinien.
2. Es müssen Wasserstoff, Stickstoff, Sauerstoff und Argon Plasma verwendbar sein und alle relevanten Sicherheitsaspekte eingehalten werden.
3. Das System muss mindestens die folgenden Materialien abscheiden können: Al2O3, HfO2, SiO2, SiN, TiN, TiO2, NbTiN.
4. Das System muss eine voll integrierte und automatische Load-Lock besitzen, um höchste Prozessstabilität und Variabilität zu gewährleisten. Die Load-Lock muss separat gepumpt werden können.
5. Die Uniformität über einen 200 mm Wafer darf dabei für die folgenden Materialien nicht größer als: Al2O3, ≤2% - HfO2, ≤3% - TiN, ≤4% sein.
6. Das PEALD System darf dabei keine beweglichen Teile über der Waferposition besitzen, so dass keine residualen Materialen die Probequalität kontaminieren können.
7. Das Plasma muss über eine ICP Quelle erzeugt werden, welches zudem außerhalb der Reaktionskammer erzeugt werden muss, um Schäden durch energetische Ionen auf den Proben zu minimieren.
8. Ein solches System muss bereits erfolgreich ausgeliefert und abgenommen sein.
Nur die Anlage "Fiji G2" der Firma Veeco GmbH kann alle für die Forschung zwingend notwendigen Spezifikationen erfüllen.
Abschnitt V: Auftragsvergabe/Konzessionsvergabe
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Aschheim
NUTS-Code: DE21H München, Landkreis
Land: Deutschland
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Ort: Ansbach
Land: Deutschland
Der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens ist unzulässig, soweit nicht nach Maßgabe des § 160 Abs. 3 GWB Verstöße gegen Vergabevorschriften innerhalb der in § 160 Abs. 3 Nrn. 1 – 3 GWB genannten Fristen gerügt worden sind. Rügen sind an folgende Adresse zu richten:
Julius-Maximilians-Universität Würzburg
Referat 3.3 Einkauf
Sanderring 2
97070 Würzburg
Die Universität Würzburg wird schriftlich mitteilen, ob einer Rüge abgeholfen wird.
Wird einer Rüge nicht abgeholfen, so ist ein Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung der Universität Würzburg, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens ist schriftlich bei der Vergabekammer einzureichen und unverzüglich zu begründen.
Sofortige Beschwerde (§ 171 GWB)
Gegen Entscheidungen der Vergabekammer ist die sofortige Beschwerde zulässig (§ 171 Abs. 1 GWB). Die sofortige Beschwerde ist auch zulässig, wenn die Vergabekammer über einen Nachprüfungsantrag nicht innerhalb der Frist des § 167 Abs. 1 GWB entschieden hat (§ 167 Abs. 2 GWB). Die sofortige Beschwerde ist binnen einer Notfrist von zwei Wochen, die mit der Zustellung der Entscheidung, im Fall des § 167 Abs. 2 GWB mit dem Ablauf der Frist beginnt, schriftlich bei dem Beschwerdegericht einzulegen. Die sofortige Beschwerde ist zugleich mit ihrer Einlegung zu begründen. Für die sofortige Beschwerde ist das Oberlandesgericht München – Vergabesenat zuständig, der darüber entscheidet.
Auf die Präklusionsvorschrift des § 160 Abs. 3 GWB wird hingewiesen.
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Würzburg
Postleitzahl: 97070
Land: Deutschland