Konfokalmikroskop - PR57550-2270-W Referenznummer der Bekanntmachung: PR57550-2270-W
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/
Abschnitt II: Gegenstand
Konfokalmikroskop - PR57550-2270-W
Konfokalmikroskop
Fraunhofer EMFT
Hansastraße 27d
80686 München
1 Stück Für einen erfolgreichen Delayering-Prozess von integrierten Schaltungen ist die Analyse und genaue Kenntnis der einzelnen, zu präparierenden Schichten des Chips, u. a. im Hinblick auf deren Topographie, während dieses Vorhabens von enormer Wichtigkeit. Da bei neueren Technologieknoten, wie z. B. 7 nm, die Strukturgrößen immer kleiner sowie die Metalllagen und Zwischenschichten in deren Dicke auf nur noch wenige 10 nm dimensioniert werden, bedarf es für deren Messungen folglich einem zerstörungsfreien, hochauflösenden System. Aus diesem Grund soll ein Konfokalmikroskop mit verschiedenen Topographiemessmodi beschafft werden.
EFRE Mittel (REACT Projekt)
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Konfokalmikroskop
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Wetzlar
NUTS-Code: DE722 Lahn-Dill-Kreis
Postleitzahl: 35578
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de