Elektronenstrahl Beschichtungsanlage Referenznummer der Bekanntmachung: E_124_228807
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/
Abschnitt II: Gegenstand
Elektronenstrahl Beschichtungsanlage
Elektronenstrahl Beschichtungsanlage
HHI
Einsteinufer 37
10587 Berlin
1 Stück Elektronenstrahl Beschichtungsanlage
2.1 Das Vakuumsystem soll für den Anschluss an eine Zentrale Vakuumversorgung (Saug- und Halteleitung) vorbereitet sein. 2.2 Die Waferhalter sollen mit einer aktiven Kühlung ausgestattet sein. 2.3 Für die aufgeführten Materialien, sollen passende Liner angeboten werden. 2.4 Eine SECS/GEM Schnittstelle soll angeboten werden 2.5 Eine Garantieverlängerung um 12 Monate soll angeboten werden Das Angebot muss mit folgende Option zwingend angeboten werden: 2.6 Die Anlage muss einmalig innerhalb der 24 Monate ab erfolgreicher Abnahme, deinstalliert, innerhalb des Institutes an eine andere Verwendungsstelle verbracht und dort neu installiert werden. Nach erfolgten Umzug soll eine erneute Abnahme erfolgen. Es muss eine Preisbindung bis 24 Monate nach Erstabnahme im Labor garantiert werden. Die Option wird voraussichtlich erst nach Abnahme der Anlage separat beauftragt.
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Elektronenstrahl Beschichtungsanlage
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Dresden
NUTS-Code: DED21 Dresden, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 01259
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de