Öffentliche Ausschreibung Neubiberg 2021 MOLEKULARSTRAHLEPITAXIEANLAGE (2 KAMMERN MIT GEMEINSAMEM TRANSPORT-SYSTEM) Referenznummer der Bekanntmachung: M/HSB1/LT349/EIT2.1

MOLEKULARSTRAHLEPITAXIEANLAGE (2 KAMMERN MIT GEMEINSAMEM TRANSPORT-SYSTEM) Referenznummer der Bekanntmachung: M/HSB1/LT349/EIT2.1_MM

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Nationale Identifikationsnummer: DE 811 272 995
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Neubiberg
NUTS-Code: DE21H München, Landkreis
Postleitzahl: 85579
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.evergabe-online.de/

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers

Ministerium oder sonstige zentral- oder bundesstaatliche Behörde einschließlich regionaler oder lokaler Unterabteilungen

I.5)Haupttätigkeit(en)

Andere Tätigkeit: Lehre und Forschung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung

II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

MOLEKULARSTRAHLEPITAXIEANLAGE (2 KAMMERN MIT GEMEINSAMEM TRANSPORT-SYSTEM)

Referenznummer der Bekanntmachung: M/HSB1/LT349/EIT2.1_MM

II.1.2)CPV-Code Hauptteil

42000000 Industrielle Maschinen

II.1.3)Art des Auftrags

Lieferauftrag

II.1.4)Kurze Beschreibung:

Auftragsgegenstand ist eine 2-Kammer-Molekularstrahlepitaxieanlage (Molecular Beam Epitaxy, MBE) zur Herstellung von dünnen Schichten.

Kammer 1: PtSe2 und vergleichbare 2D-Materialien für Sensor-Schichten.

Kammer 2: SiGe mit n- und p-Dotierung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen als Basis für die Sensoren aus Kammer 1.

II.1.6)Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)

Wert ohne MwSt.: [Betrag gelöscht] EUR

II.2)Beschreibung

II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)

38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

II.2.3)Erfüllungsort

NUTS-Code: DE21H München, Landkreis

Hauptort der Ausführung:

Siehe Verzeichnis der Empfängeranschriften

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

2-Kammer-Molekularstrahlepitaxieanlage zur Herstellung von dünnen Schichten. Kammer 1: PtSe2 und vergleichbare 2D-Materialien für Sensor-Schichten im Rahmen des dtec.bw Projekts. Kammer 2: SiGe mit n- und p-Dotierung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen als Basis für die Sensoren aus Kammer 1. Epitaxiesystem zur physikalischen Gasphasenabscheidung kristalliner dünner Schichten. Evaporation der benötigten Materialien aus Effusionszellen bzw. Elektronenstrahlverdampfern - je nach Material, wie im Folgenden spezifiziert. Abscheidung der Schichten mit sub-Nanometer-Genauigkeit, Co-Evaporation verschiedener Materialien aus unterschiedlichen Zellen möglich - hier z.b.: Pt und Se in Kammer 1; Si, Ge, B, P in Kammer 2. In-situ Schichtdicken- und Qualitätskontrolle mittels geeigneter, im Folgenden spezifizierter Messverfahren. Ultrahochvakuum (UHV)- System bestehend aus den beiden Epitaxiekammern, einer gemeinsamen Probenschleuse und einem gemeinsamen Transportkanal. Transportkanal zur späteren Erweiterung des Systems um weitere Kammern verlängerbar. Steuerung und Regelung des Gesamtsystems auf SPS-Basis mit zentraler Steuersoftware - ebenfalls später um weitere Kammern erweiterbar. Die Wartungsleistungen sind ebenfalls Bestandtteil des Auftrags. Der Auftragnehmer muss innerhalb von 48 Stunden auf Störungen reagieren und mit einem deutschsprachigen Mitarbeiter vor Ort sein können. Bieter können einzelne Teile aus der bestehenden Anlage der UniBw M übernehmen, sind hierzu aber nicht verpflichtet. Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung

II.2.5)Zuschlagskriterien

Preis

II.2.11)Angaben zu Optionen

Optionen: ja

Beschreibung der Optionen:

Der Auftraggeber ist berechtigt, den Auftragnehmer über den Zeitraum von 5 Jahren hinaus mit der Wartung über einen weiteren Zeitraum von 5 Jahren zu beauftragen. Dem Auftragnehmer steht kein Leistungsverweigerungsrecht zu.

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Bieter haben die Möglichkeit, Altteile aus der bestehenden Anlage der UniBw M zu übernehmen. Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung

IV.1.1)Verfahrensart

Offenes Verfahren

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2)Verwaltungsangaben

IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren

Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2021/S 191-494122

IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 1

Bezeichnung des Auftrags:

MOLEKULARSTRAHLEPITAXIEANLAGE (2 KAMMERN MIT GEMEINSAMEM TRANSPORT-SYSTEM)

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

V.2)Auftragsvergabe

V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses:

22/11/2021

V.2.2)Angaben zu den Angeboten

Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Weil der Stadt
NUTS-Code: DE112 Böblingen
Postleitzahl: 71263
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Internet-Adresse: www.mbe-components.com

Der Auftragnehmer ist ein KMU: ja

V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.)

Gesamtwert des Auftrags/Loses: [Betrag gelöscht] EUR

V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse: https://www.bundeskartellamt.de/SharedDocs/Kontaktdaten/DE/Vergabekammern.html

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:

22/11/2021

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