Öffentliche Ausschreibung München 2021 Anlage zur Plasmaaktivierung Referenznummer der Bekanntmachung: E_018

Anlage zur Plasmaaktivierung Referenznummer der Bekanntmachung: E_018_209818

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers

Andere: Forschung und Entwicklung

I.5)Haupttätigkeit(en)

Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung

II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Anlage zur Plasmaaktivierung

Referenznummer der Bekanntmachung: E_018_209818

II.1.2)CPV-Code Hauptteil

42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

II.1.3)Art des Auftrags

Lieferauftrag

II.1.4)Kurze Beschreibung:

Anlage zur Plasmaaktivierung

II.1.6)Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)

Wert ohne MwSt.: [Betrag gelöscht] EUR

II.2)Beschreibung

II.2.3)Erfüllungsort

NUTS-Code: DE131 Freiburg im Breisgau, Stadtkreis

Hauptort der Ausführung:

Fraunhofer IPM

Georges-Köhler-Allee 301

79110 Freiburg

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

1 Stück Mit der Anlage zur Plasmaaktivierung sollen monokristalline Lithiumniobat-, Quarz- sowie thermisch oxidierte Siliziumwafer oberflächlich aktiviert werden, wodurch sich beim darauffolgenden Waferbonding, im Vergleich zu nicht aktivierten Wafern, eine sehr hohe Bondstärke bereits bei geringen Bonding-Temperaturen erreichen lässt. Da die zu bondenden Wafer verschiedene thermische Ausdehnungskoeffizienten aufweisen, geht eine Reduktion der Bond-Prozesstemperatur mit einer Reduktion der mechanischen Verspannung einher, was für die weitere Prozessierbarkeit und Stabilität der gebondeten Wafer von äußerster Wichtigkeit ist. Gleichzeitig ist es aber essentiell, dass die Oberflächen der Wafer durch die Plasmaaktivierung nicht zu sehr aufgeraut werden, denn bereits Mikrorauigkeiten im Nanometer-Bereich führen zu deutlich schlechteren Bondergebnissen. Ferner ist es notwendig, dass die Plasmaaktivierung ohne Kontamination von Metallionen geschieht. Zwar besteht während der Aktivierung keine Gefahr, dass etwaig abgeschiedene Metallionen in die Wafersubstrate eindiffundieren, wohl aber im darauffolgenden Prozessschritt, in dem Temperaturen > 100 °C benötigt werden. Optional: 9.1 Turbomolekularpumpe 9.2 Plasmaaktivierung und Bonding von SiO2- und Lithiumniobatwafern als Dienstleistung zur Überbrückung der Lieferzeit 9.3 Weitere Prozessunterstützung

II.2.5)Zuschlagskriterien

Preis

II.2.11)Angaben zu Optionen

Optionen: nein

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung

IV.1.1)Verfahrensart

Auftragsvergabe ohne vorherige Bekanntmachung eines Aufrufs zum Wettbewerb im Amtsblatt der Europäischen Union (für die unten aufgeführten Fälle)

Der Auftrag fällt nicht in den Anwendungsbereich der Richtlinie

Erläuterung:

Patentierte Leistung benötigt

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2)Verwaltungsangaben

IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 1

Bezeichnung des Auftrags:

Anlage zur Plasmaaktivierung

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

V.2)Auftragsvergabe

V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses:

15/11/2021

V.2.2)Angaben zu den Angeboten

Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Neuhaus am Inn
NUTS-Code: DE222 Passau, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 94152
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]

Der Auftragnehmer ist ein KMU: nein

V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.)

Gesamtwert des Auftrags/Loses: [Betrag gelöscht] EUR

V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland

VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:

15/11/2021

Datenschutzerklärung