Öffentliche Ausschreibung München 2021 Lineare PECVD-Quelle mit Pumpstand und Verdampfer Referenznummer der Bekanntmachung: E_035

Lineare PECVD-Quelle mit Pumpstand und Verdampfer Referenznummer der Bekanntmachung: E_035_358282

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/

I.2)Informationen zur gemeinsamen Beschaffung

Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers

Andere: Forschung und Entwicklung

I.5)Haupttätigkeit(en)

Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung

II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Lineare PECVD-Quelle mit Pumpstand und Verdampfer

Referenznummer der Bekanntmachung: E_035_358282

II.1.2)CPV-Code Hauptteil

42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

II.1.3)Art des Auftrags

Lieferauftrag

II.1.4)Kurze Beschreibung:

Lineare PECVD-Quelle mit Pumpstand und Verdampfer

II.1.6)Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)

Wert ohne MwSt.: [Betrag gelöscht] EUR

II.2)Beschreibung

II.2.3)Erfüllungsort

NUTS-Code: DE13 Freiburg

Hauptort der Ausführung:

ISE (N)

Berliner Allee 30

79110 Freiburg

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

1 Stück Lineare PECVD-Quelle mit Pumpstand und Verdampfer Für die hochratige Abscheidung von transparenten Schichten auf der existierenden horizontalen Inline-Prozessanlage HIP wird eine Quelle zur Plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) ausgeschrieben. Die Quelle muss in ein Fach der bestehenden Anlage integriert werden und soll zur Abscheidung von SiO2, Si3N4 und TiO2 ausgelegt sein. Es sollen flüssige Precursoren verwendet werden, die geeigneten Verdampfern in die Gasphase überführt werden. Zusätzlich zu den Verdampfern ist die gesamte Gaszuführung mit den Flussreglern anzubieten. Als Musterprozess soll SiO2 mit den Precursoren HMDSO oder TMDSO abgeschieden werden, wobei die Rate über 200 nm*m/min für transparente Schichten betragen soll. Über eine Substratbreite von 120 cm ist dabei eine Schichtdickenhomogenität besser als +/-5% zu gewährleisten. Weiterhin ist ein mit den Precursoren und Prozessdrücken im Bereich von 1e-2 mbar kompatibles Pumpsystem mit ausreichendem Saugvermögen im Angebot vorzusehen. Die Installation, die Inbetriebnahme vor Ort am ISE in Freiburg sowie die Einweisung von Personal sind im Angebot aufzunehmen. Der Auftraggeber ist bei der Klärung der relevanten sicherheitstechnischen Fragestellungen zu unterstützen.

II.2.5)Zuschlagskriterien

Preis

II.2.11)Angaben zu Optionen

Optionen: nein

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung

IV.1.1)Verfahrensart

Auftragsvergabe ohne vorherige Bekanntmachung eines Aufrufs zum Wettbewerb im Amtsblatt der Europäischen Union (für die unten aufgeführten Fälle)

Der Auftrag fällt nicht in den Anwendungsbereich der Richtlinie

Erläuterung:

Durch den Kooperationsvertrag sind die

Partner zur vertraulichen Behandlung des Backgrounds sowie

der Forschungsergebnisse

verpflichtet (Farbkollektor Kooperationsvertrag.pdf, S. 6). Dies

betrifft sowohl die laufenden

Arbeiten im Projekt, als auch die Verwertung im Zeitraum von

fünf Jahren nach Abschluss des

Verbundprojektes. Aufgrund dieser Vertraulichkeit, welche auch

im Kooperationsvertrag explizit

festgehalten ist, können Dritte nicht mit den entscheidenden

Informationen zu Design und

Spezifikation der Quelle konfrontiert werden. Aus diesem

Grunde kann die Leistung nur durch die

Firma Interpane erbracht werden.;

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2)Verwaltungsangaben

IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 1

Bezeichnung des Auftrags:

Lineare PECVD-Quelle mit Pumpstand und Verdampfer

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

V.2)Auftragsvergabe

V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses:

12/11/2021

V.2.2)Angaben zu den Angeboten

Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Lauenförde
NUTS-Code: DE9 Niedersachsen
Postleitzahl: 37697
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]

Der Auftragnehmer ist ein KMU: ja

V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.)

Gesamtwert des Auftrags/Loses: [Betrag gelöscht] EUR

V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland

VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:

12/11/2021

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