Öffentliche Ausschreibung München 2021 Manuelle Probestation für Elektromigrationsmessung Referenznummer der Bekanntmachung: E_068

Manuelle Probestation für Elektromigrationsmessung Referenznummer der Bekanntmachung: E_068_249044 ChrPat-phue

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/

I.2)Informationen zur gemeinsamen Beschaffung

Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers

Andere: Forschung und Entwicklung

I.5)Haupttätigkeit(en)

Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung

II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Manuelle Probestation für Elektromigrationsmessung

Referenznummer der Bekanntmachung: E_068_249044 ChrPat-phue

II.1.2)CPV-Code Hauptteil

42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

II.1.3)Art des Auftrags

Lieferauftrag

II.1.4)Kurze Beschreibung:

Manuelle Probestation für Elektromigrationsmessung.

II.1.6)Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)

Wert ohne MwSt.: [Betrag gelöscht] EUR

II.2)Beschreibung

II.2.3)Erfüllungsort

NUTS-Code: DED2 Dresden

Hauptort der Ausführung:

IKTS-MD

Standort Dresden-Klotzsche

Maria-Reiche-Str. 5

1277 Dresden

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

1 Stück manuelle Probestation für Elektromigrationsmessung

Mit der Anlage sollen Teststrukturen einer 22 nm-Technologie geprüft werden. Die Teststrukturen sind einzelne Leiterbahnen, die über Kontaktflächen auf dem Chip angesteuert werden. Ein Chip befindet sich auf einem Stück eines 300 mm-Wafers. Die Anlage muss die Möglichkeit bieten, das Waferstück auf 175 ^oC/300 ^oC zu heizen sowie es in einer Kapselung mit Stickstoffbefüllung unterzubringen, um Oxidation zu vermeiden. Der Aufbau muss langzeitstabile Messungen für mehrere Wochen ermöglichen. HF-Messspitzen sollen auf den Kontaktflächen aufsetzen, um das HF-Signal einzuspeisen. Zusätzlich muss die Möglichkeit gegeben sein, ein Gleichspannungsoffset mit dem HF-Signal zu überlagern. Mit der Anlage muss es möglich sein, eventuelle Veränderungen des HF-Signals über die Zeit und in Korrelation mit DC-Messungen zu charakterisieren. Die Anlage soll bei 77 GHz (175 ^oC) und 67 GHz (300 ^oC) messen.

II.2.5)Zuschlagskriterien

Qualitätskriterium - Name: Lieferzeit / Gewichtung: 10,00

Qualitätskriterium - Name: Technische Auführung / Gewichtung: 55,00

Preis - Gewichtung: 35,00

II.2.11)Angaben zu Optionen

Optionen: nein

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: ja

Projektnummer oder -referenz:

EFRE

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung

IV.1.1)Verfahrensart

Verhandlungsverfahren

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2)Verwaltungsangaben

IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren

Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2020/S 244-603697

IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 1

Bezeichnung des Auftrags:

Manuelle Probestation für Elektromigrationsmessung

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

V.2)Auftragsvergabe

V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses:

14/07/2021

V.2.2)Angaben zu den Angeboten

Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Dresden
NUTS-Code: DED21 Dresden, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 01189
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]

Der Auftragnehmer ist ein KMU: ja

V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.)

Gesamtwert des Auftrags/Loses: [Betrag gelöscht] EUR

V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland

VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:

14/07/2021

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