E_018_209569 SchMel-pehue Halbautomatisches Bondsystem Referenznummer der Bekanntmachung: E_018_209569
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/
Abschnitt II: Gegenstand
E_018_209569 SchMel-pehue Halbautomatisches Bondsystem
Halbautomatisches Bondsystem.
Fraunhofer IPM
Georges-Köhler-Allee 301
79110 Freiburg
1 Stück Die Beschaffung bezieht sich auf ein Bondsystem um u. a. monokristalline Lithiumniobatwafer auf Quarzwafer oder thermisch oxidierte Siliziumwafer zu bonden. Dabei ist es essentiell, dass die Lithiumniobatkristalle während des Bondprozesses nicht durch Metallionen kontaminiert werden. Aktuell finden Wafer mit Größen von 3'' Anwendung. Das System muss jedoch zukünftig auch für Wafergrößen bis zu 150 mm verwendet werden können. Zudem soll es möglich sein während des Bondprozesses Gase in Kavitäten einschließen zu können. Des Weiteren ist es notwendig auch Kleinsubstrate (15 mm x 15 mm) eutektisch Bonden zu können. Dies erfordert eine präzise Ausrichtung der Substrate zueinander. Im speziellen müssen diese Substrate über eine Rückseitenjustage mit einer Genauigkeit besser als 2 μm zueinander ausgerichtet werden können. Optional: Es muss zur Überbrückung der Lieferzeit möglich sein 20 Lithiumniobat/SiO2-Direktbonds kostenfrei beim Anlagenlieferanten durchführen zu können.
Abschnitt IV: Verfahren
- Der Auftrag fällt nicht in den Anwendungsbereich der Richtlinie
Patent; Zusatzbeschaffung
Abschnitt V: Auftragsvergabe
E_018_209569 SchMel-pehue Halbautomatisches Bondsystem
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Neuhaus am Inn
NUTS-Code: DE22 Niederbayern
Postleitzahl: 94152
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de