Öffentliche Ausschreibung München 2021 E_079_236513 ksp-pehue Plasmaunterstützte Atomic Layer Etching Anlage Referenznummer der Bekanntmachung: E_079

E_079_236513 ksp-pehue Plasmaunterstützte Atomic Layer Etching Anlage Referenznummer der Bekanntmachung: E_079_236513

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [removed]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers

Andere: Forschung und Entwicklung

I.5)Haupttätigkeit(en)

Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung

II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

E_079_236513 ksp-pehue Plasmaunterstützte Atomic Layer Etching Anlage

Referenznummer der Bekanntmachung: E_079_236513

II.1.2)CPV-Code Hauptteil

42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

II.1.3)Art des Auftrags

Lieferauftrag

II.1.4)Kurze Beschreibung:

Plasmaunterstützte Atomic Layer Etching (PEALE) Anlage.

II.1.6)Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)

Wert ohne MwSt.: [Betrag gelöscht] EUR

II.2)Beschreibung

II.2.3)Erfüllungsort

NUTS-Code: DED Sachsen

Hauptort der Ausführung:

IISB

Zentrales Reinraumlabor der TU Bergakademie Freiberg

Leipziger Str. 23

09599 Freiberg

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

1 Stück

Mit der Atomic Layer Etching Anlage (ALE) sollen sowohl monolagengenaue, selbstlimitierende, sequentielle, plasmaunterstützte Atomlagenabtragungen als auch schädigungsarmes physikalisch-chemisches Trockenätzen (ICP-RIE) zur Strukturierung von unterschiedlichsten Materialien durchgeführt werden. Durch das THM Freiberg soll im Zentralen Reinraumlabor (ZRL) der TU Freiberg eine ALE-Anlage mit induktiver Plasmaerzeugung (PEALE - plasma enhanced atomic layer etching) installiert werden. Der Anbau an ein Niedertemperatur-Beschichtungscluster soll gewährleistet sein. Zudem soll die Anlage über alle notwendigen Komponenten zur Durchführung von schädigungsarmen ICP-RIE-Ätzungen sowohl mit Fluorchemie als auch mit Chlor-basierten Prozessen verfügen. Wir wollen unsere Forschung im Bereich Atomlagenätzen im Speziellen von SiO2, High-k, Nitride und III-V Materialien mit einer ISO9001 zertifizierten, 150 mm fähigen PEALE erweitern. Es wird eine in-situ Prozess- und optional eine Endpunktkontrolle gefordert. Optionen: Laser-Interferometer, Emissionsspektrometer,Wartung nach der Gewährleistungszeit

II.2.5)Zuschlagskriterien

Qualitätskriterium - Name: Techische Ausführung und Service / Gewichtung: 65,00

Preis - Gewichtung: 35,00

II.2.11)Angaben zu Optionen

Optionen: ja

Beschreibung der Optionen:

2.2.1 Laser-Interferometer 2.2.2 Emissionsspektrometer 2.6 Wartung nach der Gewährleistungszeit

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung

IV.1.1)Verfahrensart

Auftragsvergabe ohne vorherige Bekanntmachung eines Aufrufs zum Wettbewerb im Amtsblatt der Europäischen Union (für die unten aufgeführten Fälle)

Die Bauleistungen/Lieferungen/Dienstleistungen können aus folgenden Gründen nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden:
- nicht vorhandener Wettbewerb aus technischen Gründen

Erläuterung:

Firma Sentech ist der einzige Anbieter nach Aufhebung und ganze technische Vorderungen sind vo der Fa.ausgefüllt.

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2)Verwaltungsangaben

IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 1

Bezeichnung des Auftrags:

E_079_236513 ksp-pehue Plasmaunterstützte Atomic Layer Etching Anlage

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

V.2)Auftragsvergabe

V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses:

26/04/2021

V.2.2)Angaben zu den Angeboten

Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Krailling
NUTS-Code: DE21H München, Landkreis
Postleitzahl: 82152
Land: Deutschland
E-Mail: [removed]
Fax: [removed]

Der Auftragnehmer ist ein KMU: ja

V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.)

Gesamtwert des Auftrags/Loses: [Betrag gelöscht] EUR

V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland

VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [removed]
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:

26/04/2021

Datenschutzerklärung