Wafersorter Referenznummer der Bekanntmachung: E_848_219870 ChrPat-bla
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [removed]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/
Abschnitt II: Gegenstand
Wafersorter
Wafersorter.
IPMS
Maria-Reiche-Straße 2
1109 Dresden
1 Stück Sorter für automatisches Waferhandling von 300 mm Wafern Das gesamte Equipment und alle Subsysteme müssen chemisch stabil sein. Das Gesamtsystem muss kompatibel zur RR-Klasse < =1000 (ca. Klasse 6 EN ISO 14644-1) oder besser sein. Alle Kabel oder andere Verbindungen im Equipment müssen klar erkennbar an beiden Enden und am Equipment selbst in Deutsch oder Englisch und mit Bezug zur mitgelieferten Equipment-Dokumentation gekennzeichnet sein.
5.2.1 Single Wafer Flipper 5.2.2 Side panels am Loadport 5.2.3 Light curtains am Loadport.
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [removed]
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de