Öffentliche Ausschreibung München 2021 Trockenätzanlage Referenznummer der Bekanntmachung: E_134

Trockenätzanlage Referenznummer der Bekanntmachung: E_134_256438 ksp-KauAnj

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [removed]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers

Andere: Forschung und Entwicklung

I.5)Haupttätigkeit(en)

Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung

II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Trockenätzanlage

Referenznummer der Bekanntmachung: E_134_256438 ksp-KauAnj

II.1.2)CPV-Code Hauptteil

42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

II.1.3)Art des Auftrags

Lieferauftrag

II.1.4)Kurze Beschreibung:

Trockenätzanlage.

II.1.6)Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)

Wert ohne MwSt.: [Betrag gelöscht] EUR

II.2)Beschreibung

II.2.3)Erfüllungsort

NUTS-Code: DED41 Chemnitz, Kreisfreie Stadt

Hauptort der Ausführung:

ENAS

Technologie-Campus 3

09126 Chemnitz

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

1 Stück reaktives Ionenätzwerkzeug (RIE) für Dielektrika und Metalle

Optional: Die Kontaktpunkte aller Werkzeugteile, die die Waferrückseite berühren, müssen eine Kontaktfläche von mehr als 14 mm² haben, um ein Durchstechen aktiver Strukturen (z. B. Membranen) auf der Waferrückseite zu vermeiden, und sollten eine der in Anhang 6.1 beschriebenen Optionen sein.

Bitte geben Sie eine Skizze aller tatsächlichen Kontaktpunkte des angegebenen Werkzeugs an. Im Mainframe sollte es zusätzlich möglich sein, auch vollständig transparente Wafer auszurichten und auszurichten.Wenn eine solche Funktion angeboten werden kann, wird sie als Option aufgeführt.Für die Waferspezifikation – Verarbeitung von Quarzwafern gemäß den genannten Spezifikationen.

Bitte stellen Sie uns ein Angebot für alle in der folgenden Tabelle aufgeführten optionalen Funktionen, die fakultativ mit dem Gerät bestellt werden können,zur Verfügung:

1. Satz Verbrauchsmaterialteile (O-Ringe, Ventile usw.) zur Abdeckung der Garantiezeit,

2. SBC – Single Board Computer (neu, 2nd),

3. Transparent Wafer Orienter Kit - zum zuverlässigen Ausrichten von vollständig / halbtransparenten Wafern,

4. Fernbedienung für die Automatisierung der Betriebsautomatisierung Hochladen / Herunterladen, um Bedienungsfehler zu vermeiden (z. B. in Kombination mit einem Barcode-Leser),

5. Erweiterte Kammer für Ersatzprozess-Kits – Metal DPS R1,

6. Erweiterte Kammer für Ersatzprozess-Kits – ASP+,

7. Erweiterte Kammer für Ersatzprozess-Kits – eMxP+,

8. Ende der Garantieprüfung und -wartung (sollte bei Auswahl eines Wartungsvertrags berücksichtigt werden),

9. Wartungsvertrag für ein Jahr mit 1 Woche / 32 Stunden einmal im Monat,

10. Instandhaltungsschulung nach Fraunhofer ENAS bewertet Anforderungen 4 Wochen für maximal 4 Ingenieure (6 x 3 Tage vor Ort bei Fraunhofer ENAS), 11. Prozessschulung 2 Wochen für maximal 4 Ingenieure (vor Ort bei Fraunhofer ENAS),

12. Tier III Kundenprozessübertragung 2 Wochen Prozessunterstützung vor Ort,

13. Getrennte Temperaturregelung für eMxP + für Kathode und Wand im Bereich von 10 ^o C. - 45 ^oC.

II.2.5)Zuschlagskriterien

Preis

II.2.11)Angaben zu Optionen

Optionen: ja

Beschreibung der Optionen:

Bitte stellen Sie uns ein Angebot für alle in der folgenden Tabelle aufgeführten optionalen Funktionen, die fakultativ mit dem Gerät bestellt werden können,zur Verfügung:

1. Satz Verbrauchsmaterialteile (O-Ringe, Ventile usw.) zur Abdeckung der Garantiezeit,

2. SBC - Single Board Computer (neu, 2nd),

3. Transparent Wafer Orienter Kit – zum zuverlässigen Ausrichten von vollständig / halbtransparenten Wafern,

4. Fernbedienung für die Automatisierung der Betriebsautomatisierung Hochladen / Herunterladen, um Bedienungsfehler zu vermeiden (z. B. in Kombination mit einem Barcode-Leser),

5. Erweiterte Kammer für Ersatzprozess-Kits – Metal DPS R1,

6. Erweiterte Kammer für Ersatzprozess-Kits – ASP+,

7. Erweiterte Kammer für Ersatzprozess-Kits – eMxP+,

8. Ende der Garantieprüfung und -wartung (sollte bei Auswahl eines Wartungsvertrags berücksichtigt werden),

9. Wartungsvertrag für ein Jahr mit 1 Woche / 32 Stunden einmal im Monat,

12. Tier III Kundenprozessübertragung 2 Wochen Prozessunterstützung vor Ort,

13.Getrennte Temperaturregelung für eMxP + für Kathode und Wand im Bereich von 10 ^o C. - 45 ^oC.

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung

IV.1.1)Verfahrensart

Auftragsvergabe ohne vorherige Bekanntmachung eines Aufrufs zum Wettbewerb im Amtsblatt der Europäischen Union (für die unten aufgeführten Fälle)

Die Bauleistungen/Lieferungen/Dienstleistungen können aus folgenden Gründen nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden:
- nicht vorhandener Wettbewerb aus technischen Gründen

Erläuterung:

Das benötigte Know-How zur den Ausrüstung von Centura 5200 Anlagen im Sinne von benötigten und zu verwendenden Materialien, Komponenten, sowie derer Handhabung und Integration gibt es nur bei der memsstar ltd. aus Schottland.

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2)Verwaltungsangaben

IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 1

Bezeichnung des Auftrags:

Trockenätzanlage

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

V.2)Auftragsvergabe

V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses:

22/12/2020

V.2.2)Angaben zu den Angeboten

Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 1

Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Livingston
NUTS-Code: UKM SCOTLAND
Postleitzahl: EH54 7BN
Land: Vereinigtes Königreich
E-Mail: [removed]

Der Auftragnehmer ist ein KMU: ja

V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.)

Gesamtwert des Auftrags/Loses: [Betrag gelöscht] EUR

V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland

VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [removed]
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:

17/02/2021

Datenschutzerklärung