Öffentliche Ausschreibung München 2021 E_079_236251 ksp-pehue Plasmaunterstützte Atomic Layer Etching (PEALE) Anlage Referenznummer der Bekanntmachung: E_079

E_079_236251 ksp-pehue Plasmaunterstützte Atomic Layer Etching (PEALE) Anlage Referenznummer der Bekanntmachung: E_079_236251

Auftragsbekanntmachung

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [removed]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/

I.3)Kommunikation

Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter: https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-17780ca203a-3bd205650b2b1a63

Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen

Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via: https://vergabe.fraunhofer.de

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers

Andere: Forschung und Entwicklung

I.5)Haupttätigkeit(en)

Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung

II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

E_079_236251 ksp-pehue Plasmaunterstützte Atomic Layer Etching (PEALE) Anlage

Referenznummer der Bekanntmachung: E_079_236251

II.1.2)CPV-Code Hauptteil

42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

II.1.3)Art des Auftrags

Lieferauftrag

II.1.4)Kurze Beschreibung:

Plasmaunterstützte Atomic Layer Etching (PEALE) Anlage.

II.1.5)Geschätzter Gesamtwert

II.1.6)Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.2)Beschreibung

II.2.3)Erfüllungsort

NUTS-Code: DED SACHSEN

Hauptort der Ausführung:

IISB

Zentrales Reinraumlabor

TU Bergakademie Freiberg

Institut für Angewandte Physik

Leipziger Straße 23

09599 Freiberg

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

1 Stück

Mit der Atomic Layer Etching Anlage (ALE) sollen sowohl monolagengenaue, selbstlimitierende, sequentielle, plasmaunterstützte Atomlagenabtragungen als auch schädigungsarmes physikalisch-chemisches Trockenätzen (ICP-RIE) zur Strukturierung von unterschiedlichsten Materialien durchgeführt werden. Durch das THM Freiberg soll im Zentralen Reinraumlabor (ZRL) der TU Freiberg eine ALE-Anlage mit induktiver Plasmaerzeugung (PEALE – plasma enhanced atomic layer etching) installiert werden. Der Anbau an ein Niedertemperatur-Beschichtungscluster soll gewährleistet sein. Zudem soll die Anlage über alle notwendigen Komponenten zur Durchführung von schädigungsarmen ICP-RIE-Ätzungen sowohl mit Fluorchemie als auch mit Chlor-basierten Prozessen verfügen. Wir wollen unsere Forschung im Bereich Atomlagenätzen im Speziellen von SiO2, High-k, Nitride und III-V Materialien mit einer ISO9001 zertifizierten, 150 mm fähigen PEALE erweitern. Es wird eine in-situ Prozess- und optional eine Endpunktkontrolle gefordert.

Optionen: Laser-Interferometer, Emissionsspektrometer,Wartung nach der Gewährleistungszeit.

II.2.5)Zuschlagskriterien

Die nachstehenden Kriterien

Preis

II.2.6)Geschätzter Wert

II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems

Beginn: 01/04/2021

Ende: 30/11/2021

Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein

II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote

Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein

II.2.11)Angaben zu Optionen

Optionen: ja

Beschreibung der Optionen:

2.2.1 Laser-Interferometer

2.2.2 Emissionsspektrometer

2.6 Wartung nach der Gewährleistungszeit

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben

III.1)Teilnahmebedingungen

III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister

Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen:

Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-17780ca203a-3bd205650b2b1a63

III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit

Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-17780ca203a-3bd205650b2b1a63

III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit

Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-17780ca203a-3bd205650b2b1a63

III.2)Bedingungen für den Auftrag

III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:

Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung

IV.1.1)Verfahrensart

Offenes Verfahren

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2)Verwaltungsangaben

IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge

Tag: 10/03/2021

Ortszeit: 11:00

IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber

IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können:

Deutsch

IV.2.6)Bindefrist des Angebots

Das Angebot muss gültig bleiben bis: 10/05/2021

IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote

Tag: 10/03/2021

Ortszeit: 11:30

Angaben über befugte Personen und das Öffnungsverfahren:

Entfällt

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags

Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein

VI.2)Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen

Aufträge werden elektronisch erteilt

VI.3)Zusätzliche Angaben:

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland

VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen

Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:

Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).

VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [removed]
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:

08/02/2021

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