Ionenstrahlsputteranlage Referenznummer der Bekanntmachung: E_062_276983
Auftragsbekanntmachung
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [removed]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/
Abschnitt II: Gegenstand
Ionenstrahlsputteranlage
E_062_276983 MalOle-bla
Ionenstrahlsputteranlage.
IWS
Winterbergstraße 28
1277 Dresden
1 Stück
Die Ionenstrahlsputteranlage soll für die Präzisionsbeschichtung von optischen Substraten (d. h. i.A. die optische Vergütung von polierten Spiegel- oder Linsenoberflächen) mit bis zu ø 300 mm Durchmesser und bis zu 50 mm Höhe mittels Ionenstrahlsputterdeposition ausgelegt sein. Zudem soll sie neben der primären Sputter-Ionenquelle eine zweite, bewegliche Ionenstrahlquelle enthalten, die das Konturieren und Glätten der Substratoberfläche am Ort der Beschichtung ermöglicht. Für die Erzeugung von Multischichtsystemen besitzt sie eine in-situ Targetwechselvorrichtung für mindestens vier Materialien mit der Möglichkeit, 2 Materialien auch paarweise gleichzeitig zu sputtern (z. B. für Mischschichten in sog. Rugate-Filtern) sowie in-situ Monitorierungssysteme der abgeschiedenen physikalischen und optischen Schichtdicke, die zur rezeptorientierten, vollautomatischen Prozesskontrolle eingesetzt werden können.
Desweiteren soll die Anlage für reaktive Schichtabscheidung geeignet sein (Sputtern von metallischen Materialien in sauerstoff- oder stickstoffhaltiger Umgebung) inklusive der dazu notwendigen Prozesssteuerung. Sie besitzt eine teilautomatisierte Vakuumschleuse zum zeitsparenden Ein- und Ausschleusen des Beschichtungssubstrates.
Option 1: 4 Targets im Lieferumfang: 1x Si (4N); 1x Ti (3N5); 1x Al (4N); 1x Cr (3N5)
Option 2: Targetwechselsystem mit 6 (statt 4) Targetpositionen
Option 3: Positionsabhängige Steuerung (Kopplung) von Assistquellen-Achsensystem und Substratrotation
Option 4: Testglaswechsler für den Einsatz mehrerer Monitorproben während eines Beschichtungsprozesses
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben
Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-[removed]a-4196e13af1a67af
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Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Anforderung Unterlagen – gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe für Sie auch ohne Registrierung zur Verfügung.
Bitte beachten Sie, dass für Teilnahmeanträge, Angebotsabgaben und Bieterfragen eine Registrierung notwendig ist. Wir empfehlen daher eine frühzeitige Registrierung auch um evtl. Bieterinformationen zu erhalten; ansonsten tragen Sie das Risiko eines evtl. Angebotsausschlusses.
— Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB).
— Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1) genannte Kontakt-stelle gerichtet werden.
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [removed]
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de