Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [removed]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/

Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter: https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-177252f25e3-78d501c9c6244f5a

Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen

Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via: https://vergabe.fraunhofer.de

Andere: Forschung und Entwicklung

Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

E_064_287097 StLa-KauAnj Beschichtungsanlage

Referenznummer der Bekanntmachung: E_064_287097

Lieferauftrag

Beschichtungsanlage.

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

NUTS-Code: DED21 Dresden, Kreisfreie Stadt

NUTS-Code: DED2 Dresden

Hauptort der Ausführung:

Fraunhofer IKTS

Winterbergstraße 28

1277 Dresden

1 Stück Beschichtungsanlage

Wir konzentrieren uns bei unserer Suche auf ein gutes ISO9001-zertifiziertes 200-mm-System, das in der Lage ist, Al2O3-, SiO2-, High-k- und Metallnitride gemäß PEALD gemäß diesem Dokument abzuscheiden. Wir erwarten ein PEALD-Kit für das System, das eine schnelle Gasumschaltung ermöglicht. Es ist auch wichtig, dass die Ausgasung von Kammerwänden während der Verarbeitung im PEALD-Modus minimiert wird. Deshalb spezifizieren wir einen Heißwandreaktor mit Wandtemperaturen von bis zu 450 ^o C.

Wir möchten die Probentemperatur in einem weiten Temperaturbereich steuern (von Raumtemperatur bis zu erhöhten Temperaturen, Temperaturbereich von 30 ^o C bis +450 ^o C).

Wir legen Wert auf Kammerreinheit, um die Prozessstabilität und Reproduzierbarkeit zu erreichen. Dazu betrachten wir einen Heißwandreaktor und eine effiziente Kammerreinigung. Wir erwarten eine ladbare Wafergröße von mindestens 200 mm. Wir betrachten die folgenden Gase: Ar, N2, O2, O3, H2, NH3.

Eine Option für die In-situ-Ellipsometrie (hierfür benötigen wir 2 gekippte optische Ports) ist erforderlich.

Wir benötigen eine halbautomatische Lastsperre im System mit manueller Beladung der Wafer mit einer Vakuumzange. Das Werkzeug wird im Reinraum des Fraunhofer IKTS in Dresden (Winterbergstraße 28) installiert und erleichtert.

Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt

Laufzeit in Monaten: 9

Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein

Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein

Optionen: nein

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: ja

Projektnummer oder -referenz:

EFRE

Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen:

Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-177252f25e3-78d501c9c6244f5a

Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-177252f25e3-78d501c9c6244f5a

Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-177252f25e3-78d501c9c6244f5a

Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

Offenes Verfahren

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

Tag: 26/02/2021

Ortszeit: 11:00

Deutsch, Englisch

Das Angebot muss gültig bleiben bis: 26/04/2021

Tag: 26/02/2021

Ortszeit: 11:00

Angaben über befugte Personen und das Öffnungsverfahren:

Entfällt

Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland

Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:

Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [removed]
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de

27/01/2021