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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften
Rechtsform des Erwerbers: Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Plasma Ashing System
Beschreibung: The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.
Kennung des Verfahrens: 5b0523ad-2b6c-48bf-bea6-5c7a87d9e7ea
Interne Kennung: BAdW-WMI-2025-1
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Walther-Meissner-Str. 8
Stadt: Garching
Postleitzahl: 85748
Land, Gliederung (NUTS): München, Landkreis (DE21H)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: #Bekanntmachungs-ID: CXP4YZ85GJU#
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Plasma Ashing System
Beschreibung: siehe Leistungsbeschreibung.
Interne Kennung: BAdW-WMI-2025-1
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
5.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Walther-Meissner-Str. 8
Stadt: Garching
Postleitzahl: 85748
Land, Gliederung (NUTS): München, Landkreis (DE21H)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Andere Laufzeit: Unbegrenzt
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Kosten
Bezeichnung: Kosten
Beschreibung: Kosten
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 50
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Qualität
Beschreibung: Qualität
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 50
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Schlichtungsstelle: Regierung von Oberbayern - Vergabestelle Südbayern
Überprüfungsstelle: Regierung von Oberbayern - Vergabestelle Südbayern
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Regierung von Oberbayern - Vergabestelle Südbayern
6. Ergebnisse
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0001
Status der Preisträgerauswahl: Ein Wettbewerbsgewinner wurde noch nicht ermittelt, der Wettbewerb ist noch nicht abgeschlossen.
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften
Registrierungsnummer: DE811209280
Postanschrift: Walther-Meissner-Str. 8
Stadt: Garching
Postleitzahl: 85748
Land, Gliederung (NUTS): München, Landkreis (DE21H)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Walther-Meissner-Institut
Telefon: +48 89289-14201
Fax: +49 89289-14206
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Regierung von Oberbayern - Vergabestelle Südbayern
Registrierungsnummer: DE811335517
Postanschrift: Maximilianstraße 39
Stadt: München
Postleitzahl: 80538
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Zentrale Vergabestelle, IuK
Telefon: +49 892176-2411
Fax: +49 892176-2847
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
Schlichtungsstelle
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: f0f7ad9f-e17f-4edd-af7e-02b77cc7aec5 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 23/10/2026 14:37:57 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 737361-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 207/2026
Datum der Veröffentlichung: 26/10/2026