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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: ICP Trockenätzanlage Chlor IV (IAF-07b1) - PR1119209-2050-P
Beschreibung: ICP Trockenätzanlage Chlor IV (IAF-07b1)
Kennung des Verfahrens: d811ca84-05f0-421d-8503-b63dc16d8d4c
Interne Kennung: PR1119209-2050-P
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42900000 Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
2.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Tullastr. 72
Stadt: Freiburg
Postleitzahl: 79108
Land, Gliederung (NUTS): Baden-Baden, Stadtkreis (DE121)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: ICP Trockenätzanlage Chlor IV (IAF-07b1) - PR1119209-2050-P
Beschreibung: 1 Stück Chlor ICP Chlor ICP Ätzanlage mit planarer Plasmaquelle Die am IAF zur Strukturierung entwickelten und qualifizierten Ätzprozesse müssen auf der neuen Anlage direkt weiterverwendet werden können und entsprechende Ätzergebnisse liefern, wie die aktuell eingesetzte Ätzanlage (Sentech ICP-RIE SI500 537).Diese bekannten Prozesse sollen auf die Wafergrößen von 150mm übertragbar sein. Optionen: Substratelektrode Möglichkeit Wafer mit 100mm-Durchmesser (Flat), sowie Bruchstücke auf Metall-Carriern zu Ätzen. Substratelektrode Möglichkeit Wafer mit 75mm-Durchmesser (Flat), sowie Bruchstücke auf Metall-Carriern zu Ätzen. Prozesskammer Beheizter Liner Service Garantierweiterung Ersatzteilkit Gasring Ersatzteilkit MVV-Messröhre Ersatzteilkit Schalldämpfer und Schutzhaube für Schleusenpumpe Ersatzteilkit Turbopumpe für Schleuse Ersatzteilkit Koppelplatte ohne Fenster Ersatzteilkit Clamping für 150 mm Wafer mit Notch Ersatzteilkit Umlaufkühler der Fa. Julabo als Ersatz Ersatzteilkit SPS Steuereinheit (CPU / RFC)
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42900000 Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
5.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Tullastr. 72
Stadt: Freiburg
Postleitzahl: 79108
Land, Gliederung (NUTS): Baden-Baden, Stadtkreis (DE121)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Datum des Beginns: 30/11/2026
Enddatum der Laufzeit: 04/12/2026
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Lieferzeit
Beschreibung: Lieferzeit
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 15
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Technik
Beschreibung: Technik
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 50
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 35
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
Elektronische Auktion: nein
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Sonstiges öffentliches Interesse
Direktvergabe:
Begründung der Direktvergabe: Bedarf an zusätzlichen Bauleistungen oder Dienstleistungen durch den ursprünglichen Auftragnehmer
Sonstige Begründung: Techniasche Alleinstellung
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Angebot:
Kennung des Angebots: TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Wert der Ausschreibung: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Sonstiges öffentliches Interesse
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: CON-0001
Datum des Vertragsabschlusses: 30/04/2026
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bieter aus Ländern außerhalb des Europäischen Wirtschaftsraums
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
8. Organisationen
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf Betrieb und Infrastruktur
Telefon: +49891205-0
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer: DE-129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: +49 89 1205-0
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Kleines Unternehmen
Registrierungsnummer: DE 128 244 113
Postanschrift: Konrad-Zuse-Bogen 13
Stadt: Krailling
Postleitzahl: 82152
Land, Gliederung (NUTS): München, Landkreis (DE21H)
Land: Deutschland
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
8.1.
ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 610a4889-9f29-4a09-866f-c798fd83edd9 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 30/04/2026 10:36:14 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch, Englisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 302687-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 85/2026
Datum der Veröffentlichung: 04/05/2026