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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: CD-SEM Measurement System (IPMS-MRS03.1) - PR884397-2480-P
Beschreibung: CD-SEM Measurement System (IPMS-MRS03.1)
Kennung des Verfahrens: b2a92c36-d3f2-427e-91e1-213cc17de25c
Interne Kennung: PR884397-2480-P
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01109
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: CD-SEM Measurement System (IPMS-MRS03.1) - PR884397-2480-P
Beschreibung: 1 CD-SEM Measurement System Anforderungen für die Top-Down-Messung kritischer Abmessungen von Linien/Zwischenräumen, Löchern/Spalten und anderen feinen Merkmalen, wie z. B. längliche Hile-/Säulenmuster, die während der Waferherstellung auf Halbleiterwafern gebildet werden, unter Verwendung eines CD-SEM mit hohem Durchsatz. Das System wird für die Bearbeitung von MEMS-Wafern in einer CMOS-kompatiblen Clean-Room-Klasse 10 (ca. ISO 4) Produktionsumgebung eingesetzt. Optionale Leistungspositionen: 1.15 Allgemeine Anforderungen Das System ist mit einer unterbrechungsfreien Stromversorgung (USV) ausgestattet. Ja 3.3 Messsystem "Das rückführbare zertifizierte Normal ist Bestandteil der Lieferung. Die Kalibrierungen sind zum Zeitpunkt der Auslieferung nicht älter als 20% des empfohlenen Kalibrierintervalls. Hinweis: Ein rückführbares zertifiziertes Normal kann vom Lieferanten zur Verfügung gestellt werden. Ansonsten stellt das Fraunhofer IPMS ein VLSI-zertifiziertes Normal zur Verfügung." Ja 4.16 Prozess Das System ist in der Lage, 3D-Messungen mit einem geneigten Strahl durchzuführen. Ja 4.17 Prozess Das System kann rückgestreute Elektronen (BSE) erkennen und sichtbar machen. Es ist möglich, CD-Messungen an dem BSE-Bild durchzuführen. Ja 8.2 Optionale Werkzeugeigenschaften Bitte geben Sie ein Angebot für einen Satz von Verbrauchsmaterialien (Lampen, O-Ringe, Ventile usw.) ab. Ja 8.4 Optionale Werkzeugeigenschaften Bitte erstellen Sie ein separates Angebot für typische Ersatzteile wie Achsengeber, Laserinterferometer, etc. Ja 11.4 Verlängerte Gewährleistung Es sollte eine verlängerte Gewährleistung ab dem Datum angeboten werden, an dem die gesetzliche Gewährleistung abläuft. Eine erweiterte Gewährleistung von weiteren 12 Monaten sollte angeboten werden. Während der Gewährleistungszeit sollten alle Kosten für Support, Reparatur und Ersatzteile abgedeckt sein. 12 Monate
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01109
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Technische Ausführung
Beschreibung: Technische Ausführung
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 55
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Lieferzeit
Beschreibung: Lieferzeit
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 10
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 35
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
Elektronische Auktion: nein
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Sonstiges öffentliches Interesse
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Applied Materials South East Asia Pte. Ltd.
Angebot:
Kennung des Angebots: TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Wert der Ausschreibung: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Sonstiges öffentliches Interesse
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: CON-0001
Datum des Vertragsabschlusses: 08/04/2026
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bieter aus Ländern außerhalb des Europäischen Wirtschaftsraums
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2
8. Organisationen
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf Betrieb und Infrastruktur
Telefon: +49891205-0
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer: DE-129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: +49 89 1205-0
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Applied Materials South East Asia Pte. Ltd.
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Großunternehmen
Registrierungsnummer: -
Postanschrift: 8 Upper Changi Road North
Stadt: Singapur
Postleitzahl: 506906
Land: Singapur
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
8.1.
ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: e2568af4-01e1-4760-b08d-17f21a43b049 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 08/04/2026 12:03:27 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch, Englisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 243718-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 69/2026
Datum der Veröffentlichung: 09/04/2026