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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Rahmenvereinbarung Waferpräparation - PR1132147-3340-R
Beschreibung: Rahmenvereinbarung Waferpräparation
Kennung des Verfahrens: ecb96cbf-557a-466f-8359-7fc7b1e7aa4e
Interne Kennung: PR1132147-3340-R
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Dienstleistungen
Haupteinstufung (cpv): 71350000 Wissenschaftliche und technische Dienstleistungen im Ingenieurwesen
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Chemnitz
Postleitzahl: 09126
Land, Gliederung (NUTS): Chemnitz, Kreisfreie Stadt (DED41)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: Rahmenvereinbarung Waferpräparation - PR1132147-3340-R
Beschreibung: Das Fraunhofer-Institut für Elektronische Nano Systeme (Fraunhofer ENAS) benötigt Prozess-Dienstleistungen eines externen Anbieters zur Durchführung und Ergänzung technologischer Prozessketten unter anderem für MEMS- und NEMS-Entwicklungen und zur Hetero-Integration. Die Aufgabenstellung reicht dabei von der Herstellung einzelner Muster bis zur Realisierung von Fertigungsaufträgen mit mehreren Waferbatches auf 150 mm- bzw. 200 mm-Wafergröße. Der Dienstleister muss in der Lage sein, die am Fraunhofer ENAS entwickelten spezifischen Prozesse in den MEMS/NEMS-Technologieabfolgen durchführen und ggf. modifizieren zu können, wobei auch nicht-CMOS-spezifische Sondermaterialien zum Einsatz kommen.
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Dienstleistungen
Haupteinstufung (cpv): 71350000 Wissenschaftliche und technische Dienstleistungen im Ingenieurwesen
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Chemnitz
Postleitzahl: 09126
Land, Gliederung (NUTS): Chemnitz, Kreisfreie Stadt (DED41)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Datum des Beginns: 01/04/2026
Enddatum der Laufzeit: 31/03/2028
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 100
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Rahmenvereinbarung, teilweise mit erneutem Aufruf zum Wettbewerb, teilweise ohne erneuten Aufruf zum Wettbewerb
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
Elektronische Auktion: nein
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
6. Ergebnisse
Höchstwert der Rahmenvereinbarungen in dieser Bekanntmachung: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Gesetzesvollzug
Direktvergabe:
Begründung der Direktvergabe: Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, da aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist
Sonstige Begründung: Einige dieser Prozessabfolgen beinhalten Sondermaterialien (z.B. Carbon Nano Tubes (CNT), magnetresistive-Schichten) bzw. Prozessschritte, welche nicht CMOS-kompatibel sind bzw. nur am ZfM mit den geforderten bzw. spezifizierten Eigenschaften (z.B. AlN) hergestellt werden können.
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
Rahmenvereinbarung:
Höchstwert der Rahmenvereinbarung: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Gesetzesvollzug
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Technische Universität Chemnitz - Zentrum für Mikrotechnologien
Angebot:
Kennung des Angebots: TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: CON-0001
Datum des Vertragsabschlusses: 25/03/2026
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bieter aus Ländern außerhalb des Europäischen Wirtschaftsraums
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
8. Organisationen
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 28
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf Rahmenverträge
Telefon: +49891205-0
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer: DE-129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: +49 89 1205-0
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Technische Universität Chemnitz - Zentrum für Mikrotechnologien
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Großunternehmen
Registrierungsnummer: DE 140857609
Postanschrift: Reichenhainer Str. 70
Stadt: Chemnitz
Postleitzahl: 09126
Land, Gliederung (NUTS): Chemnitz, Kreisfreie Stadt (DED41)
Land: Deutschland
Telefon: +49 37153133009
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
8.1.
ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: f26d71fb-d655-46b5-9785-556032793d3c - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 25/03/2026 14:34:36 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 207330-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 60/2026
Datum der Veröffentlichung: 26/03/2026