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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Optical measurement tool (IMS-03) - PR887737-2380-P
Beschreibung: Optical measurement tool (IMS-03)
Kennung des Verfahrens: 2141659e-0965-4f3e-9c5e-b41e7dbd9432
Interne Kennung: PR887737-2380-P
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38552000 Elektronische Messgeräte
2.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Finkenstraße 61
Stadt: Duisburg
Postleitzahl: 47057
Land, Gliederung (NUTS): Duisburg, Kreisfreie Stadt (DEA12)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: Optical measurement tool (IMS-03) - PR887737-2380-P
Beschreibung: 1 Stück Quasi-monolithisch integrierte Chiplets (QMI), die vielfältige Funktionen wie Mikroprozessoren, signalverarbeitende Hochgeschwindigkeitsschnittstellen und integrierte Sensoren vereinen, erfordern hochwertige optische Schichten. Für eine quasimonolithische Backend-Integration von optischen Chiplets wie Photodetektoren, Lasern, Filtern, Phasenschiebern oder Kopplern wird eine große Vielfalt an dielektrischen Schichten (wie SiO2, TiO2, Si3N4 oder AlN) benötigt, um alle Anforderungen des Endsystems zu erfüllen. Eine genaue Kenntnis der Materialparameter wie der Dicke oder des komplexen Brechungsindexes über einen breiten Spektralbereich ist unerlässlich, um die bestmögliche Lösung für die Anwendung zu finden. Zuallererst ist die Messung der optischen Parameter zwingend erforderlich, um die besten Materialien für das neue PVD-Sputter-Cluster-Tool zu entwickeln. Dies ist für die Demonstration der QMI-Verarbeitungslinie unerlässlich. Die Messung der optischen Materialparameter soll mittels spektroskopischer Ellipsometrie erfolgen. Der abgedeckte Wellenlängenbereich des Systems muss mindestens 300 nm - 1700 nm mit einer spektralen Auflösung unter 5 nm betragen. Das System muss in der Lage sein, 200-mm-Wafer vollautomatisch von Kassette zu Kassette zu bearbeiten. Für die Datenanalyse und die Extraktion der Materialparameter ist eine Offline-Software erforderlich. Diese Software ermöglicht eine fortgeschrittene Materialmodellierung und eine einfache Weiterverarbeitung der Messdaten. Diese Software muss für eine Mehrbenutzerlizenz verfügbar sein. Die vorhandene Ausrüstung am Fraunhofer IMS kann den benötigten Spektralbereich und die Auflösung nicht abdecken. Die Entwicklung neuer dielektrischer Materialien am PVD-Sputter-Cluster ist ohne eine angemessene Materialcharakterisierung am selben Standort nicht möglich, insbesondere bei kurzen Entwicklungszyklen. Diese neue Anlage ist eine wesentliche und strategische Erweiterung, um quasi monolithisch integrierte Backend-Optik zu ermöglichen, die optische Schichten auf CMOS-integrierten Chiplets bereitstellt, die schließlich mit anderen Chiplets unter Verwendung von 2,5- und 3D-Integration kointegriert werden. Optionen - Vollständiges System Offline-Analysesoftware für die Simulation von Passung, Schichtdicke, Materialkonstanten, Brechungsindex aus den exportierten Rohdaten - Vollständiges System Mehrplatzlizenz für Offline-Analysesoftware - Vollständiges System Handhabung und Bearbeitung von Dual-Bonded-Wafern mit einer Dicke von bis zu 1500 µm ohne Beschädigung von Wafer und System - Messsystem Spotgröße kleiner als 20µm - Messsystem Wellenlängenbereich unter 350nm - Messsystem Wellenlängenbereich über 1600nm - Schulung und Unterstützung Die Reaktionszeit für Support- und Wartungs-/Reparaturmaßnahmen sollte weniger als drei Arbeitstage betragen, ebenso wie die Lieferung von benötigten Ersatzteilen. - Schulung und Unterstützung Inspektion und Wartung am Ende der Garantiezeit (Wartung im 1. Jahr) - Schulung und Unterstützung Hauptersatzteile und Verbrauchsmaterial für mindestens ein Jahr - Schulung und Unterstützung Wartungsvertrag
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38552000 Elektronische Messgeräte
5.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Finkenstraße 61
Stadt: Duisburg
Postleitzahl: 47057
Land, Gliederung (NUTS): Duisburg, Kreisfreie Stadt (DEA12)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Laufzeit: 9 Monate
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Technische Ausführung
Beschreibung: Technische Ausführung
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 45,00
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Nachhaltigkeit
Beschreibung: Nachhaltigkeit
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 10,00
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Lieferzeit
Beschreibung: Lieferzeit
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 10,00
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 35,00
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
Elektronische Auktion: nein
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Gesetzesvollzug
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: KLA-Tencor GmbH
Angebot:
Kennung des Angebots: TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Wert der Ausschreibung: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Gesetzesvollzug
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: CON-0001
Datum des Vertragsabschlusses: 13/02/2026
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 3
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 3
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bieter aus Ländern außerhalb des Europäischen Wirtschaftsraums
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
8. Organisationen
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf Betrieb und Infrastruktur
Telefon: +49891205-0
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer: DE-129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: +49 89 1205-0
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: KLA-Tencor GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Großunternehmen
Registrierungsnummer: DE129394679
Postanschrift: Clemensstrasse 30
Stadt: München
Postleitzahl: 80803
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: +49 351 828020
Fax: +49 351 8280220
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
8.1.
ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 55530f4d-a686-495b-9b4b-ea357baa16e5 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 23/02/2026 12:30:20 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch, Englisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 128100-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 38/2026
Datum der Veröffentlichung: 24/02/2026