1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2.1.
Verfahren
Titel: ALD System (Dielectric) (IPMS-CNT06.1) - PR1017835-2480-P
Beschreibung: ALD System (Dielectric) (IPMS-CNT06.1)
Kennung des Verfahrens: ae9b4ef6-a0bf-4d93-a236-868ba0ae5bf4
Interne Kennung: PR1017835-2480-P
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01109
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: ALD System (Dielectric) (IPMS-CNT06.1) - PR1017835-2480-P
Beschreibung: 1 Stück ALD System (Dielectric) (IPMS-CNT06.1) Eine Anlage zum Aufbringen von Metallnitriden und dielektrischen Schichten mittels thermischer ALD-Verarbeitung auf Wafern mit einem Durchmesser von 300 mm. Details siehe Vergabeunterlagen. Optionale Leistungspositionen: 2.2.1.1.8 Grundkonfiguration ein Swap-Kit für Metallnitridkammer enthalten Ja/Nein 2.2.1.1.10 Grundausstattung Waferrotation in der Prozesskammer für bessere Gleichmäßigkeitswerte verfügbar Ja/Nein 2.2.1.1.11 Grundausstattung Interne Lagerung von Dummy-Wafern/Testwafern "Ja/Nein (wenn dies Teil des Angebots ist, dann lautet der Mindestanforderungsparameter: min. 25 Wafer, aber eine höhere Anzahl von Wafern ist wünschenswert)" 2.2.1.1.12 Grundkonfiguration Wenn keine Lagerung verfügbar ist, bitte garantieren, dass verschiedene Wafertypen (Dummy, Test, Produkt) in einem Durchlauf aus verschiedenen FOUPs/Loadports (Parallelmodus) verarbeitet werden können Ja/Nein 2.2.1.1.13 Grundkonfiguration Das System ist mit einem Notch-Aligner ausgestattet. Dieser verfügt über einen programmierbaren Kerbenwinkel mit einer Genauigkeit von ≤0,5º für die Kerbe und ≤0,1 mm für die Zentrierung. Ja/Nein 2.2.1.1.14 Grundkonfiguration Kühlstation oder vergleichbare Option zur Waferkühlung (z. B. in Loadlock), damit der FOUP keine erhitzten Wafer sieht. Ja/Nein 2.2.1.1.16 Grundausstattung Vorheizstation/Vorheizkammer verfügbar Ja/Nein 2.2.1.1.20 Grundausstattung Eine zusätzliche Verbindung/ein zusätzliches Fenster in der Kammer für In-situ-Messtechnik (z. B. Massenspektroskopie), weitere Details können während der Verhandlungen geklärt werden Ja/Nein 2.2.1.1.21 Grundkonfiguration Zwei zusätzliche Installationsanschlüsse in der Kammer für die Möglichkeit der In-situ-Ellipsometrie, weitere Details können während der Verhandlungen geklärt werden Ja/Nein 2.2.1.1.22 Grundkonfiguration Möglichkeit, dass die Waferrückseite einschließlich der Abschrägung während der Bearbeitung nicht beschichtet wird Ja/Nein 2.2.1.2.5 Kassetten- und Wafer-Spezifikation - Wafermaterial Handhabung von Quarzwafern Ja/Nein 2.2.2.6 Kammer A (Oxidkammer) BKM erforderlich für thermisches ALD von SiO2 und Ta2O5 mit metallorganischen Vorläufern, einschließlich Vorschlägen für Vorläufer, die im Lieferumfang enthalten sind Ja/Nein 2.2.2.13 Kammer A (Oxidkammer) Oxidationsmittel für ALD mit einer zusätzlichen Gasleitung für H2O; ja/nein 2.2.2.14 Kammer A (Oxidkammer) Möglichkeit, Prozesse mit O2 und O3 in einem Prozess zu kombinieren/zu verwenden (z. B. dotiertes HfO2 --> Dotierstoff läuft mit O2, HfO2 läuft mit O3) Ja/Nein 2.2.2.17 Kammer A (Oxidkammer) Option zur parallelen Bearbeitung von Wafern "Ja/Nein (falls verfügbar, bitte angeben; falls Teil des Angebots, dann Mindestanforderung: min. 2 Wafer)" 2.2.3.7 Kammer B (Metallnitridkammer) BKM für thermisches ALD von ZrN und WN mit metallorganischen oder Halogenvorläufern, einschließlich Vorschlägen für Vorläufer, die im Lieferumfang enthalten sind Ja/Nein; (falls im Angebot enthalten: eine höhere Anzahl von Prozessen ist wünschenswert) 2.2.3.14 Kammer B (Metallnitridkammer) Option für weitere Prozessgase (z. B. H2, SiH4) "Ja/Nein (falls im Angebot enthalten: weitere Gasanschlüsse gewünscht)" 2.2.3.15 Kammer B (Metallnitridkammer) Option für zusätzliche Nitriergase (Tertbutylhydrazin) "Ja/Nein (falls im Angebot enthalten: weitere Gasanschlüsse gewünscht)" 2.2.3.18 Kammer B (Metallnitridkammer) Option für In-situ-Reinigung "falls verfügbar, bitte angeben; Ja/Nein" 2.2.3.19 Kammer B (Metallnitridkammer) Option für parallele Bearbeitung von Wafern "falls verfügbar, bitte angeben, min. 2 Wafer; ja/nein" 2.2.5.1 Subtools Pumpen sind im Angebot enthalten Ja/Nein, Edwards-Typ 2.2.5.2 Subtools Kühler sind im Angebot enthalten Ja/Nein 2.2.5.3 Subtools Ozonisator ist im Angebot enthalten Ja/Nein 2.2.5.4 Subtools Reiniger ist im Angebot enthalten Ja/Nein 2.2.12.2 Schnittstellengeräte Touchscreen bevorzugt Ja/Nein 3.1.3 Prozessübersicht Kammer B: BKM für thermisches ALD von ZrN, HfN oder anderen Nitriden einschließlich Vorschlägen für Vorläufer Ja/Nein 4.1 Quelleninspektion Bitte bieten Sie eine Quelleninspektion an, falls verfügbar Ja/Nein 4.2.5 Installation Optionale Prozessgase inkl. Gasleitungen für Kammer B "H2, H2O, NF3; ja/nein" 4.6.10 Prozessabnahmetests Prozesstest: Kammer B - 10 nm MoN "Ja/Nein; (Wenn dies Teil des Angebots ist, gilt folgende Mindestanforderung: Das System muss die Anforderungen der Prozessspezifikationen und Prozessstabilität für mindestens 25 x 300 mm planare Bare-Si-Wafer erfüllen --> Partikel, Dickenuniformität, Wölbungsmessung, Schichtwiderstand 3 x 200 mm Bare-Si-Wafer in Pocketwafers --> Dickenhomogenität, Schichtwiderstand Eine volle Kammerladung strukturierter 3D-Wafer (siehe Kapitel 3.3 )--> Analyse der Dickenkonformität) 4.12.1 Erweiterte Gewährleistung Das Angebot umfasst eine erweiterte Gewährleistung von weiteren 12 Monaten. Ja/Nein 5.1.2 Anforderungspunkte, die angeboten werden müssen Verbrauchsmaterialien (Lampen, Ventile usw., Kammer-Kits) Ja/Nein 5.1.3 Anforderungspunkte, die angeboten werden müssen Offline-Rezepturverwaltungssystem Ja/Nein
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01109
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Technische Ausführung
Beschreibung: Technische Ausführung
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 60,00
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 40,00
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
Elektronische Auktion: nein
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde kein Wettbewerbsgewinner ermittelt, und der Wettbewerb ist abgeschlossen.
Grund, warum kein Gewinner ausgewählt wurde: Sonstiges
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bieter aus Ländern außerhalb des Europäischen Wirtschaftsraums
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf Betrieb und Infrastruktur
Telefon: +49891205-0
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer: DE-129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: +49 89 1205-0
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: d4be2ace-42c9-4533-a9d0-1a44967875c6 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 30/01/2026 12:37:51 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch, Englisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 75037-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 22/2026
Datum der Veröffentlichung: 02/02/2026