1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Inline AFM (IPMS-CNT10.1; IPMS-CNT10.3) - PR908005-2480-P
Beschreibung: Inline AFM (IPMS-CNT10.1; IPMS-CNT10.3)
Kennung des Verfahrens: 6c587f58-b1b0-4d65-9c7e-b341aca08f0f
Interne Kennung: PR908005-2480-P
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01109
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: Gewünschter Liefertermin: April 2026
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: Inline AFM (IPMS-CNT10.1; IPMS-CNT10.3) - PR908005-2480-P
Beschreibung: 1 Stück Inline AFM Komplettes Rasterkraftmikroskop-System für die Wafer-Metrologie bis 300 mm, bestehend aus entkoppelten XY- und Z-AFM-Scannern mit biegegeführtem Scan-System für alle drei Achsen: Das für den 300-mm-Reinraum anzuschaffende Werkzeug soll innerhalb der Halbleiterproduktionslinie zur schnellen Charakterisierung von Wafern eingesetzt werden können. Der Schwerpunkt liegt dabei auf den Parametern Rauheit, Strukturhöhe, Breiten (kritisches Maß) und Seitenwandwinkel. Außerdem soll eine Defektprüfung möglich sein, um deren morphologische Eigenschaften zu bestimmen. Das System muss vollautomatisch arbeiten und auch elektrische Parameter erfassen können (z.B. Kapazitäten von fF-Bereichen bis zu mehreren hundert pF). Das Handlingsystem und alle Teile, die mit dem Wafer in Berührung kommen, müssen die definierten Kontaminationswerte einhalten, um die Wafer weiter verarbeiten zu können. Optionale Leistungspositionen: 2.2.15 Gewährleistungsverlängerung Bitte bieten Sie eine Verlängerung der Gewährleistung um weitere 12 Monate an. Während der Gewährleistungszeit sind alle Support-, Reparatur- und Ersatzteilkosten abgedeckt und kostenlos. bitte bestätigen, ja/nein 2.2.29 Allgemeine Ausrüstungsanforderungen Das AFM muss in der Lage sein, kleinere Sonden für die Messung manuell zu handhaben (z.B. 200mm Wafer, Waferstücke). Es muss ein Zugang zum Tischbereich vorhanden sein, um die Sonde manuell zu platzieren. Eine Messung muss mit Hilfe der Software des Geräts möglich sein. Es muss keine automatische Handhabung erfolgen. bitte angeben - ja/nein 2.4.7 Kassetten- und Waferspezifikationen Waferdicke 650 µm - 1500 µm - ja/nein 2.7.2 Wafer-Handling/Transfer/Loadlock Es gibt keine Interferenzen zwischen Handlingsystem und Substrat mit Ausnahme eines Außenrings von 10 mm. Dies könnte durch die Verwendung von Full Edge Grip oder ähnlichem (inkl. Handling, Prealigner, Chuck-Vakuum, ...) oder als umschaltbare Konfiguration durch Rezept oder einfache (intuitive) Umschaltung durch den Bediener realisiert werden. bitte angeben und bestätigen - ja/nein 2.7.4 Wafer-Handling-/Transfer-/Loadlock-Ausrüstung verfügt über ein Videoüberwachungssystem zur Überwachung des Systembetriebs bitte angeben und bestätigen - ja/nein 2.12.16 Nachhaltigkeit bietet Modi zur Leistungsreduzierung während der Standby-Zeit bitte angeben - ja/nein 2.12.17 Nachhaltigkeit bietet ein Strommesssystem zur Überwachung des Stromverbrauchs bitte angeben - ja/nein 2.12.18 Nachhaltigkeit Bestätigung und Vorlage der Zertifizierung des Anbieters nach der Nachhaltigkeitsnorm ISO 14001 - Umweltmanagementsystem bitte angeben - ja/nein
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01109
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Technische Ausführung
Beschreibung: Technische Ausführung
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 40,00
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Nachhaltigkeit: Energieverbrauch (standby)
Beschreibung: Nachhaltigkeit: Energieverbrauch (standby)
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 15,00
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 45,00
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
Elektronische Auktion: nein
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Sonstiges öffentliches Interesse
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Park Systems Europe GmbH
Angebot:
Kennung des Angebots: TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Wert der Ausschreibung: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Sonstiges öffentliches Interesse
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: CON-0001
Datum des Vertragsabschlusses: 08/12/2025
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bieter aus Ländern außerhalb des Europäischen Wirtschaftsraums
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
8. Organisationen
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf Betrieb und Infrastruktur
Telefon: +49891205-0
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer: DE-129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: +49 89 1205-0
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Park Systems Europe GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Mittleres Unternehmen
Registrierungsnummer: DE311587684
Postanschrift: Schildkroetstr. 15
Stadt: Mannheim
Postleitzahl: 68199
Land, Gliederung (NUTS): Mannheim, Stadtkreis (DE126)
Land: Deutschland
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
8.1.
ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 0b6800f9-86ee-4536-be78-178dc7d944fd - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 08/12/2025 14:31:22 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch, Englisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 815369-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 237/2025
Datum der Veröffentlichung: 09/12/2025