1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2.1.
Verfahren
Titel: 300mm XRD (IPMS-CNT07.2) - PR904697-2480-P
Beschreibung: 300mm XRD (IPMS-CNT07.2)
Kennung des Verfahrens: 99d1265e-2df6-4a34-bd7e-f04f1af6c024
Interne Kennung: PR904697-2480-P
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01109
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: Gewünschter Liefertermin: September 2026
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: 300mm XRD (IPMS-CNT07.2) - PR904697-2480-P
Beschreibung: 1 Stück 300mm XRD Röntgendiffraktometer, das für die Analyse von 300 mm Vollwafer-Halbleiterproben und Waferfragmenten geeignet ist. Die Ausrüstung muss sehr flexibel sein, um eine große Anzahl verschiedener Tests mit unterschiedlichen Testaufbauten durchführen zu können. Das Röntgendiffraktometer ist für den Laboreinsatz im Halbleiterbereich für Beugungsmessungen im streifenden Einfall (GI XRD), Reflektometriemessungen (XRR), Polfigur- und Texturmessungen, hochauflösende Beugungsmessungen (HRXRD) und Spannungsanalysen für 300mm- und 200mm-Wafer sowie für Silizium-Waferfragmente geeignet und ist mit allen notwendigen Subsystemen (z.B. Kühler) ausgestattet. Optionale Leistungspositionen: 19.1 Mikrofokusquelle Bitte bieten Sie eine Mikrofokusquelle an, die mit dem im Lastenheft geforderten System kompatibel ist. "< 1mm². Bitte als Option angeben und angeben, ob eine spätere Nachrüstung möglich ist! Wenn eine Mikrofokusquelle angeboten wird, wird die volle Punktzahl vergeben, andernfalls 0 Punkte." 19.2 In-plane-Detektor Bitte bieten Sie einen In-plane-Detektor an, der mit dem im Lastenheft geforderten System kompatibel ist. "Bitte geben Sie an, ob es sich um eine Option handelt und ob es später nachgerüstet werden kann! Wenn der Detektor angeboten wird, wird die volle Punktzahl vergeben, ansonsten 0 Punkte." 19.3 "RSM - Reziproke Raumkarte -" "Bieten Sie bitte die entsprechende Ausrüstung an, sei es Hardware und/oder Software, die es ermöglicht, RSM aufzuzeichnen und zu analysieren, und die mit dem im Lastenheft geforderten System kompatibel ist. Die mitgelieferte Software muss in der Lage sein, die RSM-Daten zu visualisieren und in ein geeignetes Format zu exportieren." "Bitte geben Sie an, ob es sich um eine Option handelt und ob diese zu einem späteren Zeitpunkt nachgerüstet werden kann! Wird die Ausrüstung angeboten, wird die volle Punktzahl vergeben, andernfalls werden 0 Punkte vergeben. 19.4 Korngrößen / Mikrodehnung Falls nicht bereits im Hauptangebot enthalten, stellen Sie bitte eine Software zur Verfügung, die mit den erforderlichen Geräten zur Berechnung von Korngrößen und Mikrodehnungen kompatibel ist. "Bitte als Option angeben. Wird die Software angeboten, wird die volle Punktzahl vergeben, andernfalls werden 0 Punkte vergeben." 19.5 Erweiterte Textur- und Polfigurmessung Bitte stellen Sie die Messskripte zur Verfügung, mit denen automatische Textur- und Polfigurmessungen über den gesamten 300-mm-Probentischbereich durchgeführt werden können. "Bitte als Option angeben und ob eine Nachrüstung zu einem späteren Zeitpunkt möglich ist! Wenn die Software angeboten wird, wird die volle Punktzahl vergeben, ansonsten 0 Punkte." 19.6 Erweiterte HRXRD-Messung Bitte stellen Sie die Messskripte zur Verfügung oder beschreiben Sie das Verfahren, mit dem automatische HRXRD-Messungen "mapping" über den gesamten 300-mm-Probentischbereich durchgeführt werden können. "Bitte als Option angeben und ob eine Nachrüstung zu einem späteren Zeitpunkt möglich ist! Wird die Software angeboten, wird die volle Punktzahl vergeben, andernfalls werden 0 Punkte vergeben." 19.7 Gewährleistungsverlängerung Bitte bieten Sie an, die Gewährleistung um weitere 12 Monate zu verlängern. "Bitte als Option angeben. Wird eine Gewährleistungsverlängerung angeboten, wird die volle Punktzahl vergeben, andernfalls werden 0 Punkte vergeben." 19.8 Hochtemperatur-XRD Bitte bieten Sie ein werkzeugspezifisches System für Hochtemperaturmessungen von Waferfragmenten an, das mit dem in den Spezifikationen geforderten System kompatibel ist. "0°C bis 1100°C" Bitte als Option angeben und angeben, ob es später nachgerüstet werden kann! Wenn ein Hochtemperaturofen angeboten wird, wird die volle Punktzahl vergeben, ansonsten 0 Punkte."
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01109
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Technische Ausführung
Beschreibung: Technische Ausführung
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 55,00
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Verbindliche Lieferzeit
Beschreibung: Verbindliche Lieferzeit
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 10,00
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 35,00
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
Elektronische Auktion: nein
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Sonstiges öffentliches Interesse
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Bruker AXS SE
Angebot:
Kennung des Angebots: TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Wert der Ausschreibung: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Sonstiges öffentliches Interesse
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: CON-0001
Datum des Vertragsabschlusses: 05/12/2025
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bieter aus Ländern außerhalb des Europäischen Wirtschaftsraums
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf Betrieb und Infrastruktur
Telefon: +49891205-0
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer: DE-129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: +49 89 1205-0
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Bruker AXS SE
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Mittleres Unternehmen
Registrierungsnummer: DE812037551
Postanschrift: Östliche Rheinbrückenstraße 49
Stadt: Karlsruhe
Postleitzahl: 76187
Land, Gliederung (NUTS): Karlsruhe, Stadtkreis (DE122)
Land: Deutschland
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
8.1.
ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: fbb0bc78-e220-4541-a5a3-93b400e68d66 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 05/12/2025 10:26:25 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch, Englisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 813831-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 236/2025
Datum der Veröffentlichung: 08/12/2025