1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Laser Plasma Dicer (IZM-25.1) - PR889073-2590-P
Beschreibung: Laser Plasma Dicer (IZM-25.1)
Kennung des Verfahrens: 29fa2e41-e92e-42ee-b39b-51f747b495be
Interne Kennung: PR889073-2590-P
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38636100 Laser
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 13355
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: Laser Plasma Dicer (IZM-25.1) - PR889073-2590-P
Beschreibung: 1 Laser Plasma Dicer Die heterogene Integration basiert auf der elektrischen Verbindung verschiedener Arten von Chips, die auf Waferebene hergestellt werden. Um solche Systeme zu schaffen, müssen einzelne Chips hergestellt werden. In der Regel werden die einzelnen Chips nach der Verarbeitung aus den Wafern herausgeschnitten. Um Wafer aus verschiedenen Materialien mit einer hohen Qualität schneiden oder vereinzeln zu können, ist ein wasserunterstützter Laserdicer notwendig. Dieser ermöglicht es, Chips aus einem breiten Spektrum von Wafer-Materialien zu separieren. Selbst Materialien, die an der Luft toxische Partikel erzeugen (GaAs), können durch das Schneiden in einer Flüssigkeit verarbeitet werden. Bei Silizium- oder Glaswafern ermöglicht der Laserprozess zudem eine bessere Schnittqualität als das klassische Schneiden mit Klingen. Auch Partikel, die während des Dicing an der Waferoberfläche haften könnten, werden beim Schneiden direkt abtransportiert, da der Wafer unter einer Flüssigkeit geschnitten werden kann, die die Ablagerungen abtransportiert und das Substrat kühlt. Das Gerät muss in der Lage sein, Wafer bis zu 300 mm zu bearbeiten, die auf einem Dicing Frame montiert sind. Sie muss das Trennen einer breiten Palette von Halbleitermaterialien (GaAs, Si, SiC) mit hoher Qualität und geringer Rauheit an der Schnittkante (Ra<0,3µm) ermöglichen. Optionen: - Fernzugriff über eine sichere Internetverbindung für eine schnelle Serviceunterstützung wäre von Vorteil
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38636100 Laser
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Laufzeit: 15 Monate
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Technische Spezifikation
Beschreibung: Technische Spezifikation
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 55,00
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 45,00
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
Elektronische Auktion: nein
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Sonstiges öffentliches Interesse
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Lidrotec GmbH
Angebot:
Kennung des Angebots: TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Wert der Ausschreibung: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Sonstiges öffentliches Interesse
Konzession – Wert:
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: CON-0001
Datum des Vertragsabschlusses: 17/07/2025
6.1.4.
Statistische Informationen:
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
8. Organisationen
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf Betrieb und Infrastruktur
Telefon: +49891205-0
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer: DE-129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: +49 89 1205-0
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Lidrotec GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Kleines Unternehmen
Registrierungsnummer: DE342206206
Postanschrift: Lothringer Allee 2
Stadt: Bochum
Postleitzahl: 44805
Land, Gliederung (NUTS): Bochum, Kreisfreie Stadt (DEA51)
Land: Deutschland
Telefon: +49 234 904 13 770
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
8.1.
ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 4d80acc5-9626-46b0-b2c3-ecaf10023df8 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 17/07/2025 10:56:41 (UTC+2) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch, Englisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 469881-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 136/2025
Datum der Veröffentlichung: 18/07/2025