1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: 300mm XRD (IPMS-CNT07.2) - PR904697-2480-P
Beschreibung: 300mm XRD (IPMS-CNT07.2)
Kennung des Verfahrens: 99d1265e-2df6-4a34-bd7e-f04f1af6c024
Interne Kennung: PR904697-2480-P
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01109
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: Gewünschter Liefertermin: September 2026
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
2.1.6.
Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Bekanntmachung, Auftragsunterlagen, Einheitliche Europäische Eigenerklärung (EEE)
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften:
Korruption:
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung:
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs:
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen:
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung:
Betrugsbekämpfung:
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels:
Zahlungsunfähigkeit:
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen:
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter:
Falsche Angaben, verweigerte Informationen, die nicht in der Lage sind, die erforderlichen Unterlagen vorzulegen, und haben vertrauliche Informationen über dieses Verfahren erhalten.:
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren:
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens:
Schweres berufliches Fehlverhalten:
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen:
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen:
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen:
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit:
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Zahlung von Steuern:
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten:
Verstoß gegen Verpflichtungen, die auf rein nationalen Ausschlussgründen beruhen:
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: 300mm XRD (IPMS-CNT07.2) - PR904697-2480-P
Beschreibung: 1 Stück 300mm XRD Röntgendiffraktometer, das für die Analyse von 300 mm Vollwafer-Halbleiterproben und Waferfragmenten geeignet ist. Die Ausrüstung muss sehr flexibel sein, um eine große Anzahl verschiedener Tests mit unterschiedlichen Testaufbauten durchführen zu können. Das Röntgendiffraktometer ist für den Laboreinsatz im Halbleiterbereich für Beugungsmessungen im streifenden Einfall (GI XRD), Reflektometriemessungen (XRR), Polfigur- und Texturmessungen, hochauflösende Beugungsmessungen (HRXRD) und Spannungsanalysen für 300mm- und 200mm-Wafer sowie für Silizium-Waferfragmente geeignet und ist mit allen notwendigen Subsystemen (z.B. Kühler) ausgestattet. Optionale Leistungspositionen: 19.1 Mikrofokusquelle Bitte bieten Sie eine Mikrofokusquelle an, die mit dem im Lastenheft geforderten System kompatibel ist. "< 1mm². Bitte als Option angeben und angeben, ob eine spätere Nachrüstung möglich ist! Wenn eine Mikrofokusquelle angeboten wird, wird die volle Punktzahl vergeben, andernfalls 0 Punkte." 19.2 In-plane-Detektor Bitte bieten Sie einen In-plane-Detektor an, der mit dem im Lastenheft geforderten System kompatibel ist. "Bitte geben Sie an, ob es sich um eine Option handelt und ob es später nachgerüstet werden kann! Wenn der Detektor angeboten wird, wird die volle Punktzahl vergeben, ansonsten 0 Punkte." 19.3 "RSM - Reziproke Raumkarte -" "Bieten Sie bitte die entsprechende Ausrüstung an, sei es Hardware und/oder Software, die es ermöglicht, RSM aufzuzeichnen und zu analysieren, und die mit dem im Lastenheft geforderten System kompatibel ist. Die mitgelieferte Software muss in der Lage sein, die RSM-Daten zu visualisieren und in ein geeignetes Format zu exportieren." "Bitte geben Sie an, ob es sich um eine Option handelt und ob diese zu einem späteren Zeitpunkt nachgerüstet werden kann! Wird die Ausrüstung angeboten, wird die volle Punktzahl vergeben, andernfalls werden 0 Punkte vergeben. 19.4 Korngrößen / Mikrodehnung Falls nicht bereits im Hauptangebot enthalten, stellen Sie bitte eine Software zur Verfügung, die mit den erforderlichen Geräten zur Berechnung von Korngrößen und Mikrodehnungen kompatibel ist. "Bitte als Option angeben. Wird die Software angeboten, wird die volle Punktzahl vergeben, andernfalls werden 0 Punkte vergeben." 19.5 Erweiterte Textur- und Polfigurmessung Bitte stellen Sie die Messskripte zur Verfügung, mit denen automatische Textur- und Polfigurmessungen über den gesamten 300-mm-Probentischbereich durchgeführt werden können. "Bitte als Option angeben und ob eine Nachrüstung zu einem späteren Zeitpunkt möglich ist! Wenn die Software angeboten wird, wird die volle Punktzahl vergeben, ansonsten 0 Punkte." 19.6 Erweiterte HRXRD-Messung Bitte stellen Sie die Messskripte zur Verfügung oder beschreiben Sie das Verfahren, mit dem automatische HRXRD-Messungen "mapping" über den gesamten 300-mm-Probentischbereich durchgeführt werden können. "Bitte als Option angeben und ob eine Nachrüstung zu einem späteren Zeitpunkt möglich ist! Wird die Software angeboten, wird die volle Punktzahl vergeben, andernfalls werden 0 Punkte vergeben." 19.7 Gewährleistungsverlängerung Bitte bieten Sie an, die Gewährleistung um weitere 12 Monate zu verlängern. "Bitte als Option angeben. Wird eine Gewährleistungsverlängerung angeboten, wird die volle Punktzahl vergeben, andernfalls werden 0 Punkte vergeben." 19.8 Hochtemperatur-XRD Bitte bieten Sie ein werkzeugspezifisches System für Hochtemperaturmessungen von Waferfragmenten an, das mit dem in den Spezifikationen geforderten System kompatibel ist. "0°C bis 1100°C" Bitte als Option angeben und angeben, ob es später nachgerüstet werden kann! Wenn ein Hochtemperaturofen angeboten wird, wird die volle Punktzahl vergeben, ansonsten 0 Punkte."
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Laufzeit: 23 Monate
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme: Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.9.
Eignungskriterien
Quellen der Auswahlkriterien: Bekanntmachung, Auftragsunterlagen
Kriterium: Finanzkennzahlen
Beschreibung: Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre. Alle weiteren Eignungskriterien entnehmen Sie bitte dem Direktlink.
Informationen über die zweite Phase eines zweiphasigen Verfahrens:
Mindestzahl der zur zweiten Phase des Verfahrens einzuladenden Bewerber: 3
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Technische Ausführung
Beschreibung: Technische Ausführung
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 55,00
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Verbindliche Lieferzeit
Beschreibung: Verbindliche Lieferzeit
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 10,00
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 35,00
5.1.11.
Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Zulässig
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch, Englisch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Zulässig
Frist für den Eingang der Teilnahmeanträge: 13/06/2025 10:00:00 (UTC+2) Eastern European Time, Central European Summer Time
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: Siehe Vergabeunterlagen
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt: ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet: ja
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem
Elektronische Auktion: nein
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes
Informationen über die Überprüfungsfristen: Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
8. Organisationen
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf Betrieb und Infrastruktur
Telefon: +49891205-0
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer: DE-129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: +49 89 1205-0
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 9b146e23-c672-4b01-a81b-0e80525afa45 - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 12/05/2025 15:21:55 (UTC+2) Eastern European Time, Central European Summer Time
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch, Englisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 309070-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 92/2025
Datum der Veröffentlichung: 14/05/2025