1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Belacker - PR619491-2270-W
Beschreibung: Belacker von Wafern mit Photo- und eBeam-Lacken
Kennung des Verfahrens: aeb44476-b8a2-4a53-9af6-cc0ac370c925
Interne Kennung: PR619491-2270-W
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: Belacker - PR619491-2270-W
Beschreibung: Eine automatisierte Forschungsanlage zum Belacken von Wafern mit Photo- und eBeam-Lacken auf Lösemittel- und Wasser-Basis, sowie zum Entwickeln dieser nach dem Belichten. 1.2 Option: 150 mm Wafer (Rund mit Semi-Flat). 1.3 Option: 100 mm Wafer (Rund mit Semi-Flat). 1.4 Option: 3'' Wafer (Rund mit Semi-Flat). 1.5 Option: 2'' Wafer (Rund mit Semi-Flat). 5.1 Option: Es müssen mindestens 50 150 mm-Wafer auf einmal in den Belacker geladen werden können. Dies muss mittels zwei Standard-Kassetten, in denen sich je bis zu 25 Wafer auf einmal befinden, geschehen. 5.2 Option: Es müssen mindestens 50 100 mm-Wafer auf einmal in den Belacker geladen werden können. Dies muss mittels zwei Standard-Kassetten, in denen sich je bis zu 25 Wafer auf einmal befinden, geschehen. 5.3 Option: Es müssen mindestens 50 3''-Wafer auf einmal in den Belacker geladen werden können. Dies muss mittels zwei Standard-Kassetten, in denen sich je bis zu 25 Wafer auf einmal befinden, geschehen. 5.4 Option: Es müssen mindestens 50 2''- Wafer auf einmal in den Belacker geladen werden können. Dies muss mittels zwei Standard-Kassetten, in denen sich je bis zu 25 Wafer auf einmal befinden, geschehen. 5.8.3 Option: Schichtdicken-Modul zum automatischen Vermessen der Lack-Schichtdicke im Bereich von 50 nm bis mind. 1000 nm. 5.8.10 Option: Ein weiteres Spincoating-Modul für lösemittelbasierte Lacke mit einer einstellbaren Randentlackung und einer Rückseitenentlackung, sowie der Möglichkeit den Lack vom Wafer wieder vollständig zu entfernen. Der Chuck muss im Bereich von 10 bis mind. 8000 UPM mit einer Beschleunigung von 10 bis mind. 20000 UPM/s drehbar sein. Die Absaugung muss programmbasiert während des Belackungsprozesses ein- und ausschaltbar sein. 5.9.2 Option: Max. 2 weitere Lacklinien für lösemittelbasierte Lacke ohne Reservoirs, für kleinere Flaschen <= 1l. Optional - Preis pro Lacklinie. 5.9.3 Option: Max. 3 weitere Lacklinien für lösemittelbasierte Lacke mit Förderpumpen und Reservoirs. Optional - Preis pro Lacklinie. 5.9.6 Option: Max. 1 weitere Lacklinie für wasserbasierte Lacke ohne Reservoir, für kleinere Flaschen <= 1l. Optional - Preis pro Lacklinie. 5.9.7 Option: Max. 1 weitere Lacklinie für wasserbasierte Lacke mit Förderpumpe und Reservoir. Optional - Preis pro Lacklinie. 5.9.10 Option: 1 weitere Entwicklerlinie für wasserbasierte Entwickler, die auch Tetramethylammoniumhydroxid (TMAH) enthalten. 5.10.2 Option: 1 mal 2 weitere Wechseltanks für einen weiteren wasserbasierten Entwickler mit je mind. 3 l Fassungsvermögen. Dieser Entwickler wird TMAH enthalten und die Tanks dürfen davon nicht angeätzt werden. 5.10.3 Option: Der Satz Wechseltanks von Punkt 5.10.1 soll optional über eine Fassstation automatisiert befüllbar sein. Es kann sein, dass diese zum Zeitpunkt der Installation noch nicht vorliegt, dann soll diese Option soweit wie möglich vorgerüstet werden. 5.11 Option: Einen Anschluss inkl. Kabinett für einen kleineren auswechselbaren Kanister mit UN-Zulassung (30 l) zur Sammlung von Lösemittelabfällen. 8.1 Option: Ausgabe über eine SECS/GEM-Schnittstelle von allen verfügbaren Daten, wie z.B. Status, Prozessparameter, ausgeführtes Rezept und Logistikereignisse ("online.local"/ "Engineering Mode"). Dieser Betrieb darf keinerlei zusätzliche Verriegelungen etc. gegenüber dem Betrieb ohne SECS/GEM-Schnittstelle erfordern/aktivieren. 8.2 Option: Die Bedienung soll (bis auf ortsgebundene Tätigkeiten, wie das Be- und Entladen) neben der Bedienung an der Anlage selbst auch von einem externen Arbeitsplatz erfolgen können.
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Technische Ausführung
Beschreibung: Technische Ausführung
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 55
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Lieferzeit
Beschreibung: Lieferzeit
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 10
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 35
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem
Elektronische Auktion: nein
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
TED eSender: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: 0,01 EUR
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Obducat Europe GmbH
Angebot:
Kennung des Angebots: TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Konzession – Wert:
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: CON-0001
Datum des Vertragsabschlusses: 13/12/2024
6.1.4.
Statistische Informationen:
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 4
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 4
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2
8. Organisationen
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf Betrieb und Infrastruktur
Telefon: +49891205-0
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer: DE-129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: +49 89 1205-0
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Obducat Europe GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Mittleres Unternehmen
Registrierungsnummer: DE264685538
Postanschrift: Robert-Gerwig-Str. 9
Stadt: Radolfzell
Postleitzahl: 78315
Land, Gliederung (NUTS): Konstanz (DE138)
Land: Deutschland
Telefon: +49 7732978980
Fax: +49 7732978980
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
8.1.
ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
11. Informationen zur Bekanntmachung
11.1.
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 9d61760c-2818-4e0b-b2ad-d5f0c421ebfe - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 13/12/2024 10:45:40 (UTC+1)
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
11.2.
Informationen zur Veröffentlichung
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 767129-2024
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 244/2024
Datum der Veröffentlichung: 16/12/2024