1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: ALD-Anlage für Metalloxidschichten - PR540988-2350- W
Beschreibung: ALD-Anlage für Metalloxidschichten
Kennung des Verfahrens: 2eb3e715-233a-4780-9306-6d9c11c4c842
Interne Kennung: PR540988-2350- W
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 42000000 Industrielle Maschinen
2.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Freiburg im Breisgau, Stadtkreis (DE131)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
Anzuwendende grenzübergreifende Rechtsvorschrift:
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: ALD-Anlage für Metalloxidschichten - PR540988-2350- W
Beschreibung: ALD-Anlage für Metalloxidschichten Das Projektvorhaben Pero-Si-Scale soll das Fraunhofer ISE in die Lage versetzen, skalierbare Herstellungsprozesse für Perowskit-Solarzellen als Obersolarzelle von Perowskit/Silizium- Tandemsolarzellen zu entwickeln. Hierzu soll eine Prozess-Linie aufgebaut werden, welche es ermöglicht, möglichst produktionsnahe Prozesse und Technologien zur Abscheidung von Perowskiten und den benötigten Kontaktschichten zu entwickeln. Als Teil dieses neuen Labors wird eine Anlage für die Atomlagenabscheidung (ALD) für die schnelle und flexible Abscheidung verschiedener Metalloxide auf einer Probenoberfläche (einseitige Abscheidung) von Perowskit/Silizium-Tandemsolarzellen benötigt. Für diese Perowskit/Silizium-Tandemsolarzellen ist es wichtig, dass die Handhabung der Proben (Be- und Entladen) in einer inerten Atmosphäre (Glovebox) erfolgt. Die wichtigsten Schichten, die in der ALD-Anlage abgeschieden werden müssen, sind die elektronenleitenden SnOx- Pufferschichten für die Perowskit-Silizium-Tandemsolarzellen. Neben SnOx sollen auch andere Metalloxide, insbesondere Al2O3, abgeschieden werden können. Um einen schnellen Wechsel zwischen zwei unterschiedlichen Metalloxidschichten zu gewährleisten, sollte die Anlage mit mindestens zwei Precursor-Bubblern ausgestattet sein. Für die Abscheidung auf Perowskit/Silizium-Tandemzellen ist eine sehr sanfte Abscheidung erforderlich, die den darunter liegenden Wafer oder Schichten (z.B. Perowskit) nicht schädigt. Daher ist eine thermische ALD-Abscheidung der Metalloxide mit Wasserdampf erforderlich. Optional kann die ALD-Anlage auch mit anderen Oxidationsquellen wie einem Sauerstoffplasma ausgestattet sein. Die ALD-Beschichtung soll vor allem bei großflächigen Perowskit/Silizium- Tandemsolarzellen eingesetzt werden. Daher steht eine homogene Abscheidung auf 166 mm x 166 mm (M6) oder 210 mm x 210 mm (M12) Wafern im Vordergrund. Dabei soll die Anlage für eine 20 nm dicke SnOx-Schicht, die bei 80 °C abgeschieden wird, einen Durchsatz von mindestens 10 M12-Wafern pro Stunde haben. Bei einer ALD-Anlage für die Beschichtung von einzelnen Wafern ist dabei ein Aufbau mit einem automatischen Wafer-Ladesystem für M6 und M12 bevorzugt. Die Anlage muss jedoch auch in der Lage sein, Proben mit kleineren Abmessungen zu beschichten (z.B. 2.5 x 2.5cm²). Da die Anlage in einem Umfeld mit starkem R&D Charakter verwendet wird, wird generell eine entsprechende Flexibilität bei gleichzeitiger industrierelevanter Ausstattung und Beschichtungsfläche benötigt. Dazu zählt auch zum einen eine entsprechende Flexibilität bei der Abscheidetemperatur, idealerweise zwischen Raumtemperatur und 200 °C. Zum anderen wird auch eine möglichst große Flexibilität bei den Schichtzusammensetzungen bevorzugt: Neben SnOx und Al2O3 sollte prinzipiell auch die Abscheidung andere Metalloxidschichten wie TiO2 und ZnOx möglich sein, sowie die Verwendung sogenannter Superzyklen um auch dotierte Metalloxide wie Aluminium-dotiertes ZnOx (AZO) abzuscheiden.
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 42000000 Industrielle Maschinen
5.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Freiburg im Breisgau, Stadtkreis (DE131)
Land: Deutschland
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: TECHNISCHE AUSFÜHRUNG
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 20
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Bewertung Konzept
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 25
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Bewertung Testsampling
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 20
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 35
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: VERGABEKAMMER
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
6. Ergebnisse
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Es wurde kein Wettbewerbsgewinner ermittelt, und der Wettbewerb ist abgeschlossen.
Grund, warum kein Gewinner ausgewählt wurde: Es sind keine Angebote, Teilnahmeanträge oder Projekte eingegangen
6.1.4.
Statistische Informationen:
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
8. Organisationen
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf Wissenschaftliche Geräte
Telefon: 08912050
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Federführendes Mitglied
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: VERGABEKAMMER
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: 08912050
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
11. Informationen zur Bekanntmachung
11.1.
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: ca89c4f3-0628-4c47-a26d-ed15461939b0 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 07/05/2024 10:58:39 (UTC+2)
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
11.2.
Informationen zur Veröffentlichung
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 272757-2024
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 90/2024
Datum der Veröffentlichung: 08/05/2024