1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Stepper i-line - PR450062-2050-W
Beschreibung: Stepper i-line
Kennung des Verfahrens: 60c8c908-ad5b-4eeb-98cf-f5ec5e34ccb9
Interne Kennung: PR450062-2050-W
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
2.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Freiburg im Breisgau, Stadtkreis (DE131)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
Anzuwendende grenzübergreifende Rechtsvorschrift:
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: Stepper i-line - PR450062-2050-W
Beschreibung: 1 pc of stepper i-line
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
5.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Freiburg im Breisgau, Stadtkreis (DE131)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Laufzeit: 20 Monat
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Price
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 100
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: VERGABEKAMMER
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
6. Ergebnisse
Direktvergabe:
Begründung der Direktvergabe: Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, da aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist
Sonstige Begründung: Das Fraunhofer IAF ist schon seit langem führend im Bereich der III-V-Halbleiterforschung und die Herstellung von Stateof- the-art Bauteilen z.B. für Hochfrequenz- oder optoelektronische Anwendungen ist eine wichtige Kernkompetenz unseres Instituts. Neuere Forschungen befassen sich u.a. mit Verstärkerschaltungen für Quantenanwendungen, die besonders große Anforderungen an Rauschzahl und Verstärkung stellen. Für die erfolgreiche Herstellung solcher Bauelemente werden neue technologische Fähigkeiten benötigt, die auf unseren etablierten Prozessabläufen aufbauen, aber noch bessere Auflösung (£ 300 nm) und engere Justagetoleranzen (£ 40 nm) erzielen müssen. Zudem ist die Verwendung von neuen, dünneren Lacksystem notwendig, um diese kleinen Auflösungen in der optischen Lithographie erreichen zu können. Zur Bearbeitung solcher Lacke werden geringere Belichtungsdosen von 400 J/ m² benötigt. Zur Realisierung dieser gestiegenen Anforderungen wird in der Lithographie ein i-line Stepper der neuesten Generation benötigt, da unsere bisherigen optischen Lithographie-Prozesse nur Auflösungen bis ca. 400 nm erreichen, eine minimale Belichtungsdosis von 700 J/m² für die bisherigen Lacksysteme ausreichend sind und auch die Overlaygenauigkeit mit ca. 50 nm exakt genug ist. Um die an uns gestellten Herausforderungen der Quantenapplikationen zu meistern und unsere Kernkompetenz in diese Richtung weiterzuentwickeln, wurden über das Projekt FMD-QNC, im Steckbrief IAF-03, Gelder bewilligt, um die notwendigen Anlagen in der Lithographie zu beschaffen. Mit Kenntnis unserer bisherigen Forschung und Herstellungsprozesse wurde ein Leistungsverzeichnis für einen neuen i-line Stepper erstellt, das neben den gestiegenen Anforderungen für Auflösung, Justagetoleranz und Belichtungsdosis auch die Randbedingungen auflistet, die eine reibungslose Integration in unsere etablierten Reinraumprozesse ermöglicht. So ist es z.B. essentiell, dass auf der neuen Maschine auch weiterhin unsere Standard-Wafergröße.
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Canon Europa N.V.
Angebot:
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Vergabe von Unteraufträgen: no
Wert der Vergabe von Unteraufträgen ist bekannt: nein
Prozentanteil der Vergabe von Unteraufträgen ist bekannt: nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags:
Datum des Vertragsabschlusses: 08/04/2024
Der Auftrag wird als Teil einer Rahmenvereinbarung vergeben: nein
6.1.4.
Statistische Informationen:
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bieter aus Ländern außerhalb des Europäischen Wirtschaftsraums
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
8. Organisationen
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf - Wissenschaftliche Geräte
Telefon: +49 8912050
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Federführendes Mitglied
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: VERGABEKAMMER
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich Str.16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 22894990
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: +49 8912050
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Canon Europa N.V.
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: large
Registrierungsnummer: DE811418579
Postanschrift: Bovenkerkerweg 59
Stadt: Amstelveen
Postleitzahl: 1185 XB
Land, Gliederung (NUTS): Oost-Groningen (NL111)
Land: Niederlande
Telefon: +31 20-545-8000
Rollen dieser Organisation:
BieterFederführendes Mitglied
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
Der Gewinner ist auf einem geregelten Markt notiert
8.1.
ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Beschaffungsamt des BMI
Registrierungsnummer: 994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
11. Informationen zur Bekanntmachung
11.1.
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: d9d5900d-ff5f-42f1-8b47-f66be7b34e5b - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 09/04/2024 09:30:27 (UTC+2)
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Englisch
11.2.
Informationen zur Veröffentlichung
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 212416-2024
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 71/2024
Datum der Veröffentlichung: 10/04/2024