1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Plasma-Anlage - PR461710-2590-W
Beschreibung: Plasma-Anlage
Kennung des Verfahrens: c19fc801-8838-43c6-bca6-467cf3073be2
Interne Kennung: PR461710-2590-W
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 44113810 Oberflächenbehandlung
2.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
Anzuwendende grenzübergreifende Rechtsvorschrift:
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: Plasma-Anlage - PR461710-2590-W
Beschreibung: Zur Verbesserung der Benetzung und Bindung suchen wir nach einem nachgeschalteten Plasmawerkzeug, mit dem wir ohne hohen kinetischen Beschuss verschiedene reaktive Gase zur Oberflächenmodifizierung einsetzen können. Halbleiterchips, Wafer und Substrate werden vor dem Bonden auf definierte Oberflächenbedingungen vorbereitet. Durch die Plasmabehandlung sollen Oxid- oder Kontaminationsschichten von Metalloberflächen entfernt werden. Aus dielektrischen Verbindungsschichten sollen Oxid- bzw. Wasser- bzw. Hydratmoleküle von der Oberfläche entfernt werden. Zur Entfernung der Oberflächenschicht durch Ionenbeschuss werden häufig Standard-Plasmawerkzeuge verwendet. Wir fordern ein atmosphärisches Plasma in einer Downstream-Konfiguration, das Ionen mit geringerer kinetischer Energie nutzt und den Oberflächenzustand eher durch chemische Reaktionen als durch kinetischen Beschuss verändert.
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 44113810 Oberflächenbehandlung
5.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Technische Ausführung
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 45
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Lieferzeit
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 10
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Nachhaltigkeit
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 10
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 35
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: VERGABEKAMMER
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
6. Ergebnisse
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: ONTOS Equipment Systems, Inc.
Angebot:
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Vergabe von Unteraufträgen: no
Wert der Vergabe von Unteraufträgen ist bekannt: nein
Prozentanteil der Vergabe von Unteraufträgen ist bekannt: nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags:
Der Auftrag wird als Teil einer Rahmenvereinbarung vergeben: nein
6.1.4.
Statistische Informationen:
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2
8. Organisationen
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf Wissenschaftliche Geräte
Telefon: +49891205-0
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Federführendes Mitglied
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: VERGABEKAMMER
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: +49 89 1205-0
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: ONTOS Equipment Systems, Inc.
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: small
Registrierungsnummer: 00000
Postanschrift: 343 Meadow Fax Lane
Stadt: Chester
Postleitzahl: NH 03036
Land: Vereinigte Staaten
Telefon: 000
Rollen dieser Organisation:
BieterFederführendes Mitglied
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Staatsangehörigkeit des Eigentümers: USA
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
8.1.
ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Beschaffungsamt des BMI
Registrierungsnummer: 994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
11. Informationen zur Bekanntmachung
11.1.
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 3874d869-dee6-4457-b536-564267971d8b - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 14/03/2024 13:45:38 (UTC+1)
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch, Englisch
11.2.
Informationen zur Veröffentlichung
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 158216-2024
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 54/2024
Datum der Veröffentlichung: 15/03/2024