1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: DRIE_CVD Plasmacluster - PR340021-2590-W
Beschreibung: DRIE_CVD Plasmacluster
Kennung des Verfahrens: 858e67f6-1dc8-4f24-b9a7-618d15361ad4
Vorherige Bekanntmachung: 575388-2023
Interne Kennung: PR340021-2590-W
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 31731100 Module
2.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
Anzuwendende grenzübergreifende Rechtsvorschrift:
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: DRIE_CVD Plasmacluster - PR340021-2590-W
Beschreibung: 1 pc of DRIE_CVD Plasmacluster with options: 15. Additional hardware for size conversion 18. DRIE and PECVD process modules might handle 200mm wafer 25. The software should have 2 different security levels (password protected) for operation, engineering 27. automated backup for the operating system, tool settings, recipes and data 28. The tools should be supplied with SECS/GEM Interface 29. Remote control option for fast service support 42. The DRIE Module has to be equipped with an Optical Emission Spectroscopy system 43. End Point detection for the switching gas process on SiO2 etch stop layer should be able to work with masks (photoresist), where the opening area can be big (~5%) but also as small as 0,5% of the total wafer area 44. An end point detection in the DRIE module shall be implemented to detect the reveal of Cu filled TSVs, when thinning from the backside is carried out. 45. The DRIE module should be able to detect the wafer thickness during thr process and stop as a defined thickness is reached 46.The RIE module should be equipped with and optical end point detecton system 47. The PECVD Module should be equipped with end point detection system for the chamber clean 95. a warranty of 24 month
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 31731100 Module
5.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Laufzeit: 12 Monat
5.1.4.
Verlängerung
Der Erwerber behält sich das Recht vor, zusätzliche Käufe vom Auftragnehmer zu tätigen, wie hier beschrieben: 15. Additional hardware for size conversion 18. DRIE and PECVD process modules might handle 200mm wafer 25. The software should have 2 different security levels (password protected) for operation, engineering 27. automated backup for the operating system, tool settings, recipes and data 28. The tools should be supplied with SECS/GEM Interface 29. Remote control option for fast service support 42. The DRIE Module has to be equipped with an Optical Emission Spectroscopy system 43. End Point detection for the switching gas process on SiO2 etch stop layer should be able to work with masks (photoresist), where the opening area can be big (~5%) but also as small as 0,5% of the total wafer area 44. An end point detection in the DRIE module shall be implemented to detect the reveal of Cu filled TSVs, when thinning from the backside is carried out. 45. The DRIE module should be able to detect the wafer thickness during thr process and stop as a defined thickness is reached 46.The RIE module should be equipped with and optical end point detecton system 47. The PECVD Module should be equipped with end point detection system for the chamber clean 95. a warranty of 24 month
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Techn
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 55
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Delivery Time
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 10
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Price
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 35
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: VERGABEKAMMER
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
6. Ergebnisse
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: SPTS/KLA
Angebot:
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Vergabe von Unteraufträgen: no
Wert der Vergabe von Unteraufträgen ist bekannt: nein
Prozentanteil der Vergabe von Unteraufträgen ist bekannt: nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags:
Datum des Vertragsabschlusses: 29/01/2024
Der Auftrag wird als Teil einer Rahmenvereinbarung vergeben: false
6.1.4.
Statistische Informationen:
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bieter aus Ländern außerhalb des Europäischen Wirtschaftsraums
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
8. Organisationen
8.1.
ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Beschaffungsamt des BMI
Registrierungsnummer: 994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf Wissenschaftliche Geräte
Telefon: +49 8912050
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Federführendes Mitglied
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: VERGABEKAMMER
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 22894990
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: +49 8912050
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: SPTS/KLA
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: large
Registrierungsnummer: DE811418579
Postanschrift: Dresden
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01109
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
Telefon: +49 16093884180
Rollen dieser Organisation:
BieterFederführendes Mitglied
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
Der Gewinner ist auf einem geregelten Markt notiert
11. Informationen zur Bekanntmachung
11.1.
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 5522aa09-c863-444a-9ee6-5e296b7907f6 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 30/01/2024 11:52:29 (UTC+1)
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Englisch
11.2.
Informationen zur Veröffentlichung
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 65243-2024
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 22/2024
Datum der Veröffentlichung: 31/01/2024
