Atomic Force Microscope (AFM) - PR383974-2480-W Referenznummer der Bekanntmachung: PR383974-2480-W
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift: Hansastraße 27c
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n): Corporate Procurement - Scientific Equipment
E-Mail:
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/
Abschnitt II: Gegenstand
Atomic Force Microscope (AFM) - PR383974-2480-W
Atomic Force Microscope (AFM)
Fraunhofer IPMS
Maria-Reiche-Str. 2
01109 Dresden
Deutschland
We need a 200mm integrated AFM. Target applications are automated step height analysis (section and depth methode) and roughness measurement for Rq ~ 0,1nm as well as profiler measurements for CMP process tuning reason. This specification describes the requirements for a process tool to be used for wafer fabrication at the FRAUNHOFER IPMS. The systems will be used for the processing of MEMS wafers in a CMOS compatible cleanroom class 10 (approximately class 4 EN ISO 14644-1) production environment.
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Atomic Force Microscope (AFM)
Postanschrift: Schildkroetstr. 15
Ort: Mannheim
NUTS-Code: DE1 Baden-Württemberg
Postleitzahl: 68199
Land: Deutschland
E-Mail:
Telefon: +49 62149089650
Fax: +49 62149089650
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
Postanschrift: Hansastraße 27c
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail:
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de