Elektronenstrahlbelichtungsanlage Technische Physik 2023
Freiwillige Ex-ante-Transparenzbekanntmachung
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber/Auftraggeber
Postanschrift: Sanderring 2
Ort: Würzburg
NUTS-Code: DE263 Würzburg, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 97070
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n): Referat 3.3 Einkauf
E-Mail:
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.uni-wuerzburg.de/startseite/
Abschnitt II: Gegenstand
Elektronenstrahlbelichtungsanlage Technische Physik 2023
Im Rahmen des vorliegenden Vergabeverfahrens vergibt der Freistaat Bayern (Auftraggeber) – hier vertreten durch die Julius-Maximilians-Universität Würzburg – die Beschaffung einer Elektronenstrahlbelichtungsanlage für den Lehrstuhl für Technische Physik an der Julius-Maximilians-Universität Würzburg gemäß dem Leistungsverzeichnis des Verfahrens.
Im Rahmen des vorliegenden Vergabeverfahrens vergibt der Freistaat Bayern (Auftraggeber) – hier vertreten durch die Julius-Maximilians-Universität Würzburg – die Beschaffung einer Elektronenstrahlbelichtungsanlage für den Lehrstuhl für Technische Physik an der Julius-Maximilians-Universität Würzburg gemäß dem Leistungsverzeichnis des Verfahrens.
Abschnitt IV: Verfahren
- Die Bauleistungen/Lieferungen/Dienstleistungen können aus folgenden Gründen nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden:
- nicht vorhandener Wettbewerb aus technischen Gründen
Für die Erfüllung der Projektarbeiten im Projekt MHLASQU ist die Anschaffung einer Elektronenstrahl-Belichtungsanlage für die Lithographie von kleinsten Strukturen bis wenige nm notwendig. Das Gerät muss akkurat Belichtungen bei unterschiedlichen Lacken und Lackdicken und bei unterschiedlichen Materialien durchführen können. Das Gerät muss folgende Eigenschaften und Spezifikationen aufweisen:
1. Das System muss ein 100kV-Lithographie-System mit einer extrem schnellen Schreibzeit von 125 MHz und bis zu 200 nA erlauben.
2. Das System muss über zahlreiche Softwarefunktionen (Auto: Fokus, Deflection Correction, Distortion Correction; Position Drift Correction, Dose Correction, Mark Detection. Dynamic Focus Correction, Dynamic Astigmatism Correction, etc.) verfügen.
3. Das System muss über einen minimalen Strahldurchmesser von 2 nm, eine minimale Linienbreite von unter 8 nm und eine sogen. Field Stitching und Overlay Accuracy von unter ≤ ±9nm bei einem 100 μm Feld bzw. ≤ ±20nm bei einem 1 mm Feld erreichen.
4. Die maximale Ablenkfläche muss 1mm x 1mm sein.
5. Das System muss mit Elektronen Detektoren ausgestattet sein.
6. Das System muss über einen automatischen Aperturwechsler verfügen.
7. Das System muss über ein Linsensystem speziell für flexible Anwendungen mit einem hochauflösenden und einem hohen Probendurchsatz besitzen.
8. Das System muss über ein Laserinterferometer-gesteuerte Probenbühne mit Positionsmessgenauigkeit von 0,15 nm besitzen.
Nur der Anbieter Jeol kann alle Punkte erfüllen.
Abschnitt V: Auftragsvergabe/Konzessionsvergabe
Ort: Freising
NUTS-Code: DE21B Freising
Land: Deutschland
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift: Promenade 27
Ort: Ansbach
Postleitzahl: 91522
Land: Deutschland
Der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens ist unzulässig, soweit nicht nach Maßgabe des § 160 Abs. 3 GWB Verstöße gegen Vergabevorschriften innerhalb der in § 160 Abs. 3 Nrn. 1 – 3 GWB genannten Fristen gerügt worden sind. Rügen sind an die Vergabestelle zu richten:
Julius-Maximilians-Universität Würzburg
Referat 3.3 Einkauf
Sanderring 2
97070 Würzburg
Email:
Die Julius-Maximilians-Universität Würzburg wird schriftlich mitteilen, ob einer Rüge abgeholfen wird.
Wird einer Rüge nicht abgeholfen, so ist ein Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung der Julius-Maximilians-Universität Würzburg, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens ist schriftlich bei der Vergabekammer (s. Nr. 9) einzureichen und unverzüglich zu begründen.
Sofortige Beschwerde (§ 171 GWB)
Gegen Entscheidungen der Vergabekammer ist die sofortige Beschwerde zulässig (§ 171 Abs. 1 GWB). Die sofortige Beschwerde ist auch zulässig, wenn die Vergabekammer über einen Nachprüfungsantrag nicht innerhalb der Frist des § 167 Abs. 1 GWB entschieden hat (§ 167 Abs. 2 GWB). Die sofortige Beschwerde ist binnen einer Notfrist von zwei Wochen, die mit der Zustellung der Entscheidung, im Fall des § 167 Abs. 2 GWB mit dem Ablauf der Frist beginnt, schriftlich bei dem Beschwerdegericht einzulegen. Die sofortige Beschwerde ist zugleich mit ihrer Einlegung zu begründen. Für die sofortige Beschwerde ist das Oberlandesgericht München – Vergabesenat zuständig, der darüber entscheidet.
Auf die Präklusionsvorschrift des § 160 Abs. 3 GWB wird hingewiesen.
Postanschrift: Sanderring 2
Ort: Würzburg
Postleitzahl: 97070
Land: Deutschland