Öffentliche Ausschreibung Garching bei München 2023 Flusssäure-Gasphasenätzsystem Referenznummer der Bekanntmachung: 051/2023 2023-09-08

Flusssäure-Gasphasenätzsystem Referenznummer der Bekanntmachung: 051/2023

Auftragsbekanntmachung

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen

Offizielle Bezeichnung: Professur für Quantennetzwerke, TUM School of Natural Sciences, Technische Universität München
Postanschrift: James-Franck-Str. 1
Ort: Garching
NUTS-Code: DE21H München, Landkreis
Postleitzahl: 85748
Land: Deutschland
E-Mail:
Telefon: +49 8932905-759
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.ph.nat.tum.de/quantum-networks/homepage/

I.3)Kommunikation

Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YK068B8/documents

Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen

Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YK068B8

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers

Einrichtung des öffentlichen Rechts

I.5)Haupttätigkeit(en)

Bildung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung

II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Flusssäure-Gasphasenätzsystem

Referenznummer der Bekanntmachung: 051/2023

II.1.2)CPV-Code Hauptteil

42900000 Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke

II.1.3)Art des Auftrags

Lieferauftrag

II.1.4)Kurze Beschreibung:

Flusssäure-Gasphasenätzsystem

II.1.5)Geschätzter Gesamtwert

II.1.6)Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.2)Beschreibung

II.2.3)Erfüllungsort

NUTS-Code: DE21H München, Landkreis

Hauptort der Ausführung:

Zentrum für Nanotechnologie und Nanomaterialien (ZNN) Am Coulombwall 4a 85748 Garching bei München

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Bezeichnung: Flusssäure-Gasphasenätzsystem

Menge: 1

Anforderungen:

1. Infrastruktur

a. Die Abmessungen des Geräts dürfen 1 m x 1 m x 2 m (Breite x Tiefe x Höhe) nicht überschreiten.

b. Das System darf keine externe Versorgung mit Prozesschemikalien voraussetzen (Ausnahmen: Druckluft, Stickstoff, (DI-)Wasser).

c. Das Gerät muss ohne weitere Infrastruktur bedient werden können, zum Beispiel mittels eines integrierten Touchscreens.

d. Das Angebot muss spezifizieren, woher Flusssäure in einem mit dem angebotenen System kompatiblen Behälter bezogen werden kann.

i. Optional soll ein mit dem angebotenen System kompatibler, gefüllten Flusssäure-Behälter angeboten werden.

e. Optional soll zudem angeboten werden:

i. Ein kompatibler Gaswäscher

ii. Kompatible Flusssäure-Detektoren

iii. Eine kompatible Scrollpumpe

2. Sicherheit

a. Ein Kontakt des Benutzers mit Prozessgasen muss durch redundante, eingebaute Sicherheitsmaßnahmen (z.B. Einhausungen, Interlocks) verhindert werden.

i. Der (nachträgliche) Anschluss externer Gassensoren zu diesem Zweck muss möglich sein.

3. Prozess

a. Die Verarbeitung einzelner Chips mit Abmessungen von kleiner oder gleich 2 mm x 2 mm sowie Wafern mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm muss möglich sein.

b. Kontrolliertes und reproduzierbares Ätzen von verschiedenen Siliziumoxiden (nativ, thermisch, PECVD) unterschiedlicher Filmdicke muss möglich sein. Dabei sind folgende Mindestanforderungen zu erfüllen:

i. Die Ätzrate muss zwischen 1 nm/min und 1 um/min einstellbar sein.

ii. Die Variation der Ätzrate auf einem Wafer darf höchstens 5% 1 sigma betragen.

iii. Die Variation der Ätztrate von Wafer zu Wafer darf höchstens 5% 1 sigma betragen.

Zu diesem Zweck sollen die Länge des Ätzvorgangs, der Druck in der Prozesskammer sowie der Massendurchfluss von Flusssäuredampf, Wasserdampf und Stickstoff als Prozessparameter überprüfbar und einstellbar sein.

c. Selektives Ätzen von Siliziumoxiden ohne gleichzeitiges Ätzen von Silizium (kristallin oder amporph), Alumnium (Al), Gold (Au), Germanium (Ge), Kohlenstoff (C) muss möglich sein.

d. Selektives Ätzen von Siliziumoxid (SiO) ohne gleichzeitiges Ätzen von Siliziumnitrid (SiN) muss möglich sein. Dabei sind folgende Mindestanforderungen zu erfüllen:

i. Die Selektivität von SiO zu LPCVD-SiN muss mindestens 50:1 betragen.

ii. Die Selektivität von SiO zu PECVD-SiN muss mindestens 10:1 betragen.

Zu diesem Zweck soll die Temperatur in der Prozesskammer als Prozessparameter überprüfbar und einstellbar sein.

Preis:

1. Bitte beachten Sie, dass der angebotene Preis ein Endpreis sein muss, inklusive Steuern, Gebühren, Zöllen, Versandkosten etc.

Lieferung:

1. Die Lieferung muss innherhalb von 12 Monaten ab Auftragserteilung erfolgen.

2. Dem Auftragsnehmer obliegt die Einholung aller möglicherweise notwendigen Ausfuhr- und Einfuhrgenehmigungen.

II.2.5)Zuschlagskriterien

Die nachstehenden Kriterien

Preis

II.2.6)Geschätzter Wert

II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems

Laufzeit in Monaten: 12

Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein

II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote

Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein

II.2.11)Angaben zu Optionen

Optionen: ja

Beschreibung der Optionen:

- Ein mit dem angebotenen System kompatibler, gefüllten Flusssäure-Behälter

- Ein kompatibler Gaswäscher

- Kompatible Flusssäure-Detektoren

- Eine kompatible Scrollpumpe

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben

III.1)Teilnahmebedingungen

III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit

Eignungskriterien gemäß Auftragsunterlagen

III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit

Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

Eigenerklärungen über mindestens drei vergleichbare (Lieferung eines der Leistungsbeschreibung entsprechenden Geräts) Referenzen des Bieters aus den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren (2020-2022), jeweils mit Angabe der Leistung, des Leistungszeitraums, des Auftragswerts und des Auftraggebers (mit Ansprechpartner und Telefonnr.).

Möglicherweise geforderte Mindeststandards:

Mindestens drei vergleichbare (Lieferung eines der Leistungsbeschreibung entsprechenden Geräts) Referenzen des Bieters aus den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren (2020-2022).

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung

IV.1.1)Verfahrensart

Offenes Verfahren

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein

IV.2)Verwaltungsangaben

IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge

Tag: 05/10/2023

Ortszeit: 12:00

IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber

IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können:

Deutsch, Englisch

IV.2.6)Bindefrist des Angebots

Das Angebot muss gültig bleiben bis: 28/10/2023

IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote

Tag: 05/10/2023

Ortszeit: 12:01

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags

Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein

VI.2)Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen

Aufträge werden elektronisch erteilt

Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert

Die Zahlung erfolgt elektronisch

VI.3)Zusätzliche Angaben:

Bekanntmachungs-ID: CXP4YK068B8

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Offizielle Bezeichnung: Regierung von Oberbayern Vergabekammer Südbayern
Ort: München
Postleitzahl: 80534
Land: Deutschland
E-Mail:
Telefon: +49 892176-2411
Fax: +49 892176-2847
Internet-Adresse: https://www.regierung.oberbayern.bayern.de/ueber_uns/zentralezustaendigkeiten/vergabekammer-suedbayern/

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:

04/09/2023

Datenschutzerklärung