Thermischer und Elektronenstrahl-Verdampfer - PR377956-2790-W_ Referenznummer der Bekanntmachung: PR377956-2790-W_
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/
Abschnitt II: Gegenstand
Thermischer und Elektronenstrahl-Verdampfer - PR377956-2790-W_
Thermischer und Elektronenstrahl-Verdampfer
TU Bergakademie Freiberg, Institut für Angewandte Physik
Leipziger Strasse 23
09599 Freiberg
1 Stück Für das Aufdampfen von metallischen Dünnschichten im Hochvakuum wird ein Metallverdampfer benötigt, der sowohl mittels thermischer Verdampfung als auch mittels Elektronenstahl- Verdampfung arbeiten kann. Die thermische Verdampfereinheit soll zwei Quellen besitzen und eine elektrische Nennleistung von mindestens 2 kW aufweisen, so dass auch hochschmelzende Metalle wie z.B. Nickel oder Palladium thermisch verdampft werden können. Der Elektronenstahl-Verdampfer soll eine Leistung von mindestens 3 kW haben und das Aufdampfen aller typischen Metalle (inklusive z.B. Platin) ermöglichen. Diese Einheit soll 4 verschiedene Tiegel zu je 8 cm³ Volumen zur Verfügung stellen, die motorisiert während eines Prozesses ausgewählt werden können. Optionen: O1.7 Elektronenstrahlverdampfer mit Platz für 6 Tiegel à 4 cm3, motorisierter Tiegelpositionierung, elektro-pneumatischer Verdampferblende und Hochspannungsnetzgerät mit mindestens 3 kW Leistung inklusive Steuereinheit O4.1Zweiter Satz Edelstahl-Abschirmbleche zur Vermeidung unerwünschter Beschichtungen der Innenwände O4.2Schiffchen/Tiegel für die thermische Quellen, geeignet für die Abscheidung von Al, Au und Ni O4.3 Tiegel für die Elektronenstrahlquelle (Wolfram, Kohlenstoff, Intermetallisch) O4.4 Quarzkristalle für die Schichtdickenmessung O8.3 Der Abschluss eines Wartungsvertrages bleibt unabhängig von der Zuschlagserteilung
Abschnitt IV: Verfahren
- Der Auftrag fällt nicht in den Anwendungsbereich der Richtlinie
Siehe Vergabebegründung
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Thermischer und Elektronenstrahl-Verdampfer
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Köln
NUTS-Code: DEA Nordrhein-Westfalen
Postleitzahl: 50968
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de