Thermischer und Elektronenstrahl-Verdampfer - PR314589-2790-W Referenznummer der Bekanntmachung: PR314589-2790-W
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/
Abschnitt II: Gegenstand
Thermischer und Elektronenstrahl-Verdampfer - PR314589-2790-W
Thermischer und Elektronenstrahl-Verdampfer
TU Bergakademie Freiberg, Institut für Angewandte Physik
Leipziger Strasse 23
09599 Freiberg, Deutschland
1 Stück Beschafft werden soll ein Thermischer und Elektronenstrahl-Verdampfer für die Erweiterung des Geräteparks im Rahmen der Sonderfinanzierung zum Aufbringen von Metallstapeln für die Herstellung von Kontakten auf verschiedenen Halbleitermaterialien. Optionen: O1.7 Optionales Angebot: Elektronenstrahlverdampfer mit Platz für 6 Tiegel à 4 cm3, motorisierter Tiegelpositionierung, elektro-pneumatischer Verdampferblende und Hochspannungsnetzgerät mit mindestens 3 kW Leistung inklusive Steuereinheit O4.1 Zweiter Satz Edelstahl-Abschirmbleche zur Vermeidung unerwünschter Beschichtungen der Innenwände O4.2 Schiffchen/Tiegel für die thermische Quellen, geeignet für die Abscheidung von Al, Au und Ni O4.3 Tiegel für die Elektronenstrahlquelle (Wolfram, Kohlenstoff, Intermetallisch) O4.4 Quarzkristalle für die Schichtdickenmessung O8.3 Der Abschluss eines Wartungsvertrages bleibt unabhängig von der Zuschlagserteilung optional.
O1.7 Optionales Angebot: Elektronenstrahlverdampfer mit Platz für 6 Tiegel à 4 cm3, motorisierter Tiegelpositionierung, elektro-pneumatischer Verdampferblende O4.1 Zweiter Satz Edelstahl-Abschirmbleche zur Vermeidung unerwünschter Beschichtungen der Innenwände O4.2 Schiffchen/Tiegel für die thermische Quellen, geeignet für die Abscheidung von Al, Au und Ni O4.3 Tiegel für die Elektronenstrahlquelle (Wolfram, Kohlenstoff, Intermetallisch) O4.4 Quarzkristalle für die Schichtdickenmessung O8.3 Der Abschluss eines Wartungsvertrages bleibt unabhängig von der Zuschlagserteilung optional.
Finanzierung aus Mittel vom Freistaat Sachsen -> Zuwendungsbescheid liegt vor.
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de