Öffentliche Ausschreibung München 2023 ICP-RIE plasma etch system - PR326801-2270-W Referenznummer der Bekanntmachung: PR326801-2270-W 2023-03-27

ICP-RIE plasma etch system - PR326801-2270-W Referenznummer der Bekanntmachung: PR326801-2270-W

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers

Andere: Research Society e. V.

I.5)Haupttätigkeit(en)

Andere Tätigkeit: Research and Development

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung

II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

ICP-RIE plasma etch system - PR326801-2270-W

Referenznummer der Bekanntmachung: PR326801-2270-W

II.1.2)CPV-Code Hauptteil

42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

II.1.3)Art des Auftrags

Lieferauftrag

II.1.4)Kurze Beschreibung:

ICP-RIE plasma etch system

II.1.6)Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.2)Beschreibung

II.2.3)Erfüllungsort

NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt

Hauptort der Ausführung:

EMFT

Hansastraße 27d

80686 München

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

1 pc of ICP-RIE plasma etch system with options: 3.7.4 Suitable exhaust silencer for pre-vacuum pump included 3.7.15 Additional vacuum gauge for pressure measurement in the chamber till atmosphere 3.7.16 Additional vacuum gauge for pressure measurement directly at the pre-vacuum pump (for pre-vacuum monitoring) 3.8.8 Helium backside cooling with included clamping function and controllable helium pressure/flow for wafer up to 200 mm diameter possible 3.8.9 Substrate electrode with widely adjustable temperature range of -150 °C till 350 °C at least

II.2.5)Zuschlagskriterien

Qualitätskriterium - Name: Technical / Gewichtung: 55,00

Qualitätskriterium - Name: Delivery time / Gewichtung: 10,00

Preis - Gewichtung: 35,00

II.2.11)Angaben zu Optionen

Optionen: ja

Beschreibung der Optionen:

3.7.4 Suitable exhaust silencer for pre-vacuum pump included 3.7.15 Additional vacuum gauge for pressure measurement in the chamber till atmosphere 3.7.16 Additional vacuum gauge for pressure measurement directly at the pre-vacuum pump (for pre-vacuum monitoring) 3.8.8 Helium backside cooling with included clamping function and controllable helium pressure/flow for wafer up to 200 mm diameter possible 3.8.9 Substrate electrode with widely adjustable temperature range of -150 °C till 350 °C at least

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung

IV.1.1)Verfahrensart

Offenes Verfahren

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2)Verwaltungsangaben

IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren

Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2023/S 031-091338

IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: nein

V.1)Information über die Nichtvergabe

Der Auftrag/Das Los wird nicht vergeben

Es sind keine Angebote oder Teilnahmeanträge eingegangen oder es wurden alle abgelehnt

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland

VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:

22/03/2023

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