Spektralellipsometer - PR176473-2270-W Referenznummer der Bekanntmachung: PR176473-2270-W
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/
Abschnitt II: Gegenstand
Spektralellipsometer - PR176473-2270-W
Spektralellipsometer
EMFT
Hansastraße 27d
80686 München
1 St Spektralellipsometer mit Optionen: 4. WaferID Reader mit entsprechender SW 15. Angabe der Mittel-, Minimum- und Maximum-Werten und der Standardabweichung auch eine Darstellung der Daten mit Dickenkontour-Linien bzw. als 3D-Gradik 18. die Möglichkeit, den Schichtstress dünner Dielektrika mit dem Gerät auf optische Weise vermes-sen 24. Der Lieferant hat mindestens zwei Mitarbeiter der EMFT in die Handhabung der Anlage und ein-fache Service Tätigkeiten einzuweisen. Als Option sind die Kosten für ein (umfangreicheres) Service-Training mit anzubieten.) 26. Wartungsvertrag
4. WaferID Reader mit entsprechender SW 15. Angabe der Mittel-, Minimum- und Maximum-Werten und der Standardabweichung auch eine Darstellung der Daten mit Dickenkontour-Linien bzw. als 3D-Gradik 18. die Möglichkeit, den Schichtstress dünner Dielektrika mit dem Gerät auf optische Weise vermes-sen 24. Der Lieferant hat mindestens zwei Mitarbeiter der EMFT in die Handhabung der Anlage und ein-fache Service Tätigkeiten einzuweisen. Als Option sind die Kosten für ein (umfangreicheres) Service-Training mit anzubieten.) 26. Wartungsvertrag
Abschnitt IV: Verfahren
- Die Bauleistungen/Lieferungen/Dienstleistungen können aus folgenden Gründen nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden:
- nicht vorhandener Wettbewerb aus technischen Gründen
Die Programme lassen sich aufgrund der Software-Kompatibilität auf einfache Weise auf ein Neugerät von KLA übertragen.;
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Spektralellipsometer
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Dresden
NUTS-Code: DED21 Dresden, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 01109
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de