Weißlichtinterferometer - PR214874-2480-W Referenznummer der Bekanntmachung: PR214874-2480-W
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/
Abschnitt II: Gegenstand
Weißlichtinterferometer - PR214874-2480-W
Weißlichtinterferometer
Fraunhofer IPMS
Maria-Reiche-Str. 2
01109 Dresden
Deutschland
Am Fraunhofer IPMS werden MOEMS (microoptoelectromechanical systems) und MEMS (microelectromechanical systems) für verschiedenste Anwendungen entwickelt und hergestellt. Ein Beispiel für eine solche Entwicklung ist ein Mikrospiegelarray (MMA Abb 1.), welches als Flächenlichtmodulator in Belichtungsgeräten der Halbleiterfotolithographie zur Anwendung kommt. Es handelt sich hierbei um aktive optische Hochpräzisionsbauelemente mit einer hohen Anzahl (> 1 Million) beweglicher Mikrospiegel. Zur Charakterisierung dieser und ähnlicher Bauelemente soll ein vollautomatisiertes Weißlichtinterferometer beschafft werden.
- wartungskosten - Kalibrierungskosten
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Weißlichtinterferometer
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Weiterstadt
NUTS-Code: DE7 Hessen
Postleitzahl: 64331
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de