MBE-Sputtering-Dünnschicht- Wachstumsanlage Referenznummer der Bekanntmachung: 2023PGE000002WU
Berichtigung
Bekanntmachung über Änderungen oder zusätzliche Angaben
Lieferauftrag
(Supplement zum Amtsblatt der Europäischen Union, 2023/S 040-118816)
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber/Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Regensburg
NUTS-Code: DE232 Regensburg, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 93053
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.auftraege.bayern.de
Abschnitt II: Gegenstand
MBE-Sputtering-Dünnschicht- Wachstumsanlage
Los 1:
Die Universität Regensburg plant in der Fakultät für Physik die Beschaffung eines neuen Clusters bestehend aus Anlagen für Molekularstrahlepitaxie (MBE), einer Aufdampf- bzw. Oxidationsanlage und eines Sputtersystems. Die MBE ist dabei der unter anderem epitaktischen Abscheidung von Materialien mit hohem Schmelzpunkt und niedrigem Dampfdruck (z. B. Pt,Ta,W) sowie von Metallen mit Schmelzpunkten bis 1500°C und Oxiden gewidmet. Es soll dabei ein Multi-Pocket-Elektronenstrahlverdampfer mit Flussratenmessung zum Einsatz kommen, sowie die Möglichkeit geboten werden, das Substrat auf 1000°C heizen und <120K zu kühlen.
Los2:
Die Sputteranlage soll dabei das Abscheiden von antiferro- und ferromagnetischen Materialien, sowie Materialien mit hohem Spin-Hall-Winkel (z.B. Pt, Ta, W) und guter magnetischer Kopplungseigenschaft (z.B. Ru, Ir) zweier magnetischer Lagen übernehmen. Es werden mindestens 8 Sputterquellenflansche für 2“-Sputterquellen benötigt.
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Abschnitt VII: Änderungen
Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/external/deeplink/subproject/adbe12cd-9002-44d2-bbb7-413b27b9c562
Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/external/deeplink/subproject/f50569fd-b829-48a2-a741-947f066bd4da
Tag: 20.03.2023
Ortszeit: 10:00
Tag: 27.03.2023
Ortszeit: 10:00
Tag: 20.03.2023
Ortszeit: 10:00
Tag: 27.03.2023
Ortszeit: 10:00