Öffentliche Ausschreibung München 2023 TMAH Ätzanlage für CMOS und MEMS Bauelemente - PR183309-2270-W Referenznummer der Bekanntmachung: PR183309-2270-W 2023-02-22

TMAH Ätzanlage für CMOS und MEMS Bauelemente - PR183309-2270-W Referenznummer der Bekanntmachung: PR183309-2270-W

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/

I.2)Informationen zur gemeinsamen Beschaffung

Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers

Andere: Forschung und Entwicklung

I.5)Haupttätigkeit(en)

Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung

II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

TMAH Ätzanlage für CMOS und MEMS Bauelemente - PR183309-2270-W

Referenznummer der Bekanntmachung: PR183309-2270-W

II.1.2)CPV-Code Hauptteil

42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

II.1.3)Art des Auftrags

Lieferauftrag

II.1.4)Kurze Beschreibung:

TMAH Ätzanlage für CMOS und MEMS Bauelemente

II.1.6)Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)

Wert ohne MwSt.: [Betrag gelöscht] EUR

II.2)Beschreibung

II.2.3)Erfüllungsort

NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt

Hauptort der Ausführung:

EMFT

Hansastraße 27d

80686 München

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

1 Stück TMAH Ätzanlage für CMOS und MEMS Bauelemente Optional: 9.1 Adapter für 150mm Carrier zum Einsetzen in den 200mm Drehantrieb aus PFA (BP) 9.2 SECS/GEM (BP) 9.3 Integrierte Datenbank für Rezept-Management und Maschinendaten (BP) 9.4 Konzentrationsüberwachung TMAH (BP) 9.5 Versorgungsfasswagen für 30l Versorgungsfass TMAH mit integrierter Förderpumpe (BP) 9.6 Entsorgungsfasswagen für 30l Entsorgungsfass TMAH (BP) 9.7 Medienversorgung HF-Dip Becken automatisch aus Vorratsgefäß (BP) 9.8 Da die Anlage nicht im Reinraum steht: gekapselter Arbeitsbereich mit FFUs vor der Anlage, Tiefe ca. 1,5m (BP) 9.9 FFUs oberhalb Prozessbereich (BP) 9.10 Hebeanlage für Abwasser (BP) 9.11 Separater Abluftwäscher für Anlage (BP) 9.12 Verlängerung der Gewährleistung von 12 auf 24 Monate (BP)

II.2.5)Zuschlagskriterien

Qualitätskriterium - Name: Technische Ausführung / Gewichtung: 30,00

Qualitätskriterium - Name: Lieferzeit / Gewichtung: 35,00

Preis - Gewichtung: 35,00

II.2.11)Angaben zu Optionen

Optionen: ja

Beschreibung der Optionen:

Optional: 9.1 Adapter für 150mm Carrier zum Einsetzen in den 200mm Drehantrieb aus PFA (BP) 9.2 SECS/GEM (BP) 9.3 Integrierte Datenbank für Rezept-Management und Maschinendaten (BP) 9.4 Konzentrationsüberwachung TMAH (BP) 9.5 Versorgungsfasswagen für 30l Versorgungsfass TMAH mit integrierter Förderpumpe (BP) 9.6 Entsorgungsfasswagen für 30l Entsorgungsfass TMAH (BP) 9.7 Medienversorgung HF-Dip Becken automatisch aus Vorratsgefäß (BP) 9.8 Da die Anlage nicht im Reinraum steht: gekapselter Arbeitsbereich mit FFUs vor der Anlage, Tiefe ca. 1,5m (BP) 9.9 FFUs oberhalb Prozessbereich (BP) 9.10 Hebeanlage für Abwasser (BP) 9.11 Separater Abluftwäscher für Anlage (BP) 9.12 Verlängerung der Gewährleistung von 12 auf 24 Monate (BP)

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: ja

Projektnummer oder -referenz:

EFRE REACT

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung

IV.1.1)Verfahrensart

Verhandlungsverfahren

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2)Verwaltungsangaben

IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren

Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2022/S 199-562663

IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 1

Bezeichnung des Auftrags:

TMAH Ätzanlage für CMOS und MEMS Bauelemente

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

V.2)Auftragsvergabe

V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses:

08/02/2023

V.2.2)Angaben zu den Angeboten

Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Brunnthal-Hofolding
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 85649
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]

Der Auftragnehmer ist ein KMU: ja

V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.)

Gesamtwert des Auftrags/Loses: [Betrag gelöscht] EUR

V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland

VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:

17/02/2023

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