Öffentliche Ausschreibung München 2023 ICP-RIE plasma etch system - PR326801-2270-W Referenznummer der Bekanntmachung: PR326801-2270-W 2023-02-13

ICP-RIE plasma etch system - PR326801-2270-W Referenznummer der Bekanntmachung: PR326801-2270-W

Auftragsbekanntmachung

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/

I.3)Kommunikation

Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-18631d34289-3f192edf23727927

Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen

Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via: https://vergabe.fraunhofer.de

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers

Andere: Research Society e. V.

I.5)Haupttätigkeit(en)

Andere Tätigkeit: Research and Development

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung

II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

ICP-RIE plasma etch system - PR326801-2270-W

Referenznummer der Bekanntmachung: PR326801-2270-W

II.1.2)CPV-Code Hauptteil

42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

II.1.3)Art des Auftrags

Lieferauftrag

II.1.4)Kurze Beschreibung:

ICP-RIE plasma etch system

II.1.5)Geschätzter Gesamtwert

II.1.6)Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.2)Beschreibung

II.2.3)Erfüllungsort

NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt

Hauptort der Ausführung:

EMFT

Hansastraße 27d

80686 München

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

1 pc of ICP-RIE plasma etch system with options:

3.7.4 Suitable exhaust silencer for pre-vacuum pump included

3.7.15 Additional vacuum gauge for pressure measurement in the chamber till atmosphere

3.7.16 Additional vacuum gauge for pressure measurement directly at the pre-vacuum pump (for pre-vacuum monitoring)

3.8.8 Helium backside cooling with included clamping function and controllable helium pressure/flow for wafer up to 200 mm diameter possible

3.8.9 Substrate electrode with widely adjustable temperature range of -150 °C till 350 °C at least

II.2.5)Zuschlagskriterien

Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt

II.2.6)Geschätzter Wert

II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems

Laufzeit in Monaten: 7

Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein

II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote

Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein

II.2.11)Angaben zu Optionen

Optionen: ja

Beschreibung der Optionen:

3.7.4 Suitable exhaust silencer for pre-vacuum pump included

3.7.15 Additional vacuum gauge for pressure measurement in the chamber till atmosphere

3.7.16 Additional vacuum gauge for pressure measurement directly at the pre-vacuum pump (for pre-vacuum monitoring)

3.8.8 Helium backside cooling with included clamping function and controllable helium pressure/flow for wafer up to 200 mm diameter possible

3.8.9 Substrate electrode with widely adjustable temperature range of -150 °C till 350 °C at least

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben

III.1)Teilnahmebedingungen

III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister

Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen:

Directlink to documents with Selection criteria: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18631d34289-3f192edf23727927

III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit

Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

Directlink to documents with Selection criteria: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18631d34289-3f192edf23727927

III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit

Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

Directlink to documents with Selection criteria: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18631d34289-3f192edf23727927

III.2)Bedingungen für den Auftrag

III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:

In the event that subcontractors are used, they must be named and their suitability is likewise to be substantiated on the basis of the listed documents under III.1). Furthermore, it must be confirmed that they will be available if the order is placed; their share in the scope of the contractual object must be stated.

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung

IV.1.1)Verfahrensart

Offenes Verfahren

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2)Verwaltungsangaben

IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge

Tag: 10/03/2023

Ortszeit: 10:00

IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber

IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können:

Deutsch, Englisch

IV.2.6)Bindefrist des Angebots

Das Angebot muss gültig bleiben bis: 08/05/2023

IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote

Tag: 10/03/2023

Ortszeit: 10:00

Angaben über befugte Personen und das Öffnungsverfahren:

not applicable

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags

Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein

VI.2)Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen

Aufträge werden elektronisch erteilt

Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert

VI.3)Zusätzliche Angaben:

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland

VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen

Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:

A request for review is inadmissible if more than 15 calendar days have passed since the receipt of the notification from the ordering party indicating a lack of willingness to help with the objection (§160 Par. 3 Clause 1 No. 4 GWB [German Act Against Restraints of Competition]). A request for review is additionally inadmissible if the contract has been awarded before the Vergabekammer (procurement review authority) has informed the ordering party of the request for review (§§ 168 Par. 2 Clause 1, 169 Par. 1 GWB). The award of the contract is possible 15 calendar days after the dispatch of the tenderer information pursuant to § 134 Par. 1 GWB. If the information is sent electronically or via fax, this time period is reduced to ten calendar days (§ 134 Par. 2 GWB). The time period begins on the day after the dispatch of the information by the ordering party; the day on which it is received at the concerned tenderer and applicant is not relevant. The admissibility of a request for review furthermore presupposes that a complaint has been made to the ordering party with regard to the asserted procurement violations within 10 days after knowledge was obtained of it (§ 160 Par. 3 Clause 1 No. 1 GWB). Complaints regarding violations of procurement rules that are apparent on the basis of the announcement must be made to the ordering party before the expiration of the time period named in the announcement for the application or for the tendering (§ 160 Par. 3 Clause 1 No. 1 GWB). Complaints regarding violations of procurement rules that do not become apparent until appearing in the award documents must be made to the ordering party no later than by the expiration of the time period for the application or for the tendering (§ 160 Par. 3 Clause 1 No. 1 GWB).

VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:

08/02/2023

Datenschutzerklärung