Measurement equipment for bow, wafer thickness and TSV - PR45184-2480-W Referenznummer der Bekanntmachung: PR45184-2480-W
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/
Abschnitt II: Gegenstand
Measurement equipment for bow, wafer thickness and TSV - PR45184-2480-W
Measurement equipment for bow, wafer thickness and TSV
Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems
Maria-Reiche-Str.2
D-01109 Dresden
Germany
1 pc. Measurement equipment for bow, wafer thickness and TSV
3.1.3 Drawing of all actual contact points 3.1.8 Logs accessible by user 3.1.10 Access levels to protect recipe settings / parameters 3.1.17 Signal light tower 3.2.1 Necessary calibrations due to Safety or legal requirements 3.2.3 Recommended calibration intervals 3.8.6 Processing of quartz wafers 3.9.1 Quotes for all necessary auxiliary equipment to operate the tool 3.9.2 Set of consumable parts 3.9.3 Traceable certified calibration wafer for TTV 3.9.4 Traceable certified calibration wafer for Bow / warp 3.9.5 Traceable certified calibration wafer for TSV 3.9.6 Decoupling to earth preventing noise or vibrations 3.9.7 A pattern recognition function on backside of wafer
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Measurement equipment for bow, wafer thickness and TSV
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Mannheim
NUTS-Code: DE126 Mannheim, Stadtkreis
Postleitzahl: 68167
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de