Öffentliche Ausschreibung München 2023 Epitaxie-Anlage EpiLab - PR237391-2610-W Referenznummer der Bekanntmachung: PR237391-2610-W 2023-01-13

Epitaxie-Anlage EpiLab - PR237391-2610-W Referenznummer der Bekanntmachung: PR237391-2610-W

Auftragsbekanntmachung

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/

I.2)Informationen zur gemeinsamen Beschaffung

Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben

I.3)Kommunikation

Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-1859bae617a-37ef78f2b35f02f6

Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen

Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via: https://vergabe.fraunhofer.de

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers

Andere: Research Society e. V.

I.5)Haupttätigkeit(en)

Andere Tätigkeit: Research and Development

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung

II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Epitaxie-Anlage EpiLab - PR237391-2610-W

Referenznummer der Bekanntmachung: PR237391-2610-W

II.1.2)CPV-Code Hauptteil

42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

II.1.3)Art des Auftrags

Lieferauftrag

II.1.4)Kurze Beschreibung:

Epitaxie-Anlage EpiLab

II.1.5)Geschätzter Gesamtwert

II.1.6)Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.2)Beschreibung

II.2.3)Erfüllungsort

NUTS-Code: DED21 Dresden, Kreisfreie Stadt

Hauptort der Ausführung:

Fraunhofer FEP

Winterbergstraße 28

01277 Dresden

Deutschland

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

1 piece

The Fraunhofer Institute for Organic Electronics, Electron Beam and Plasma Technology FEP (henceforth referred to as FEP) has a number of active projects related to magnetron sputter epitaxy. These projects are funded by government grants as well as internal grants of the Fraunhofer society. The common aim of these projects is to transfer magnetron sputter epitaxy from lab scale to an industrial production technology for semiconductor devices.

Magnetron sputter epitaxy is a novel technique that can be used to grow single crystal film stacks on large area silicon wafers. Such a process is in general referred to as epitaxy. Such single crystal film stacks are the basis of many optoelectronic and power electronic devices.

Currently the technological development is performed on an existing tool at the FEP. However, this tool is unable to achieve the high degree of film quality and process control required by the semiconductor industry. Moreover, the existing tool does not provide the flexibility for rapidly transferring process from the lab to an industrial scale. Thus, a new epitaxy tool will be procured from the successful bidder (henceforth referred to as capital equipment manufacturer) on this tender to complement the existing tool at the FEP and accelerate the development process.

Options:

4.3.1Cooling power of min. 2 kW at 253 K

4.3.2 Cooling fluid suitable for the magnetron sputtering sources offered as part of EpiLab (cf. section 4.1)

4.4.1Duration of 24 months

4.5.1Rated for class ISO 6 cleanroom

4.5.2 All components that will enter room EE014 (cf. section 1.6)

II.2.5)Zuschlagskriterien

Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt

II.2.6)Geschätzter Wert

II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems

Laufzeit in Monaten: 4

Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein

II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote

Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein

II.2.11)Angaben zu Optionen

Optionen: ja

Beschreibung der Optionen:

4.3.1 Cooling power of min. 2 kW at 253 K

4.3.2 Cooling fluid suitable for the magnetron sputtering sources offered as part of EpiLab (cf. section 4.1)

4.4.1 Duration of 24 months

4.5.1 Rated for class ISO 6 cleanroom

4.5.2 All components that will enter room EE014 (cf. section 1.6)

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Das Projekt wird mit Haushaltsinternen Mitteln finanziert.

Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben

III.1)Teilnahmebedingungen

III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister

Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen:

Directlink to documents with Selection criteria: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-1859bae617a-37ef78f2b35f02f6

III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit

Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

Directlink to documents with Selection criteria: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-1859bae617a-37ef78f2b35f02f6

III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit

Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

Directlink to documents with Selection criteria: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-1859bae617a-37ef78f2b35f02f6

III.2)Bedingungen für den Auftrag

III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:

In the event that subcontractors are used, they must be named and their suitability is likewise to be substantiated on the basis of the listed documents under III.1). Furthermore, it must be confirmed that they will be available if the order is placed; their share in the scope of the contractual object must be stated.

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung

IV.1.1)Verfahrensart

Offenes Verfahren

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2)Verwaltungsangaben

IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge

Tag: 09/02/2023

Ortszeit: 10:00

IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber

IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können:

Englisch, Deutsch

IV.2.6)Bindefrist des Angebots

Das Angebot muss gültig bleiben bis: 11/04/2023

IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote

Tag: 09/02/2023

Ortszeit: 10:00

Angaben über befugte Personen und das Öffnungsverfahren:

not applicable

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags

Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein

VI.2)Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen

Aufträge werden elektronisch erteilt

Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert

Die Zahlung erfolgt elektronisch

VI.3)Zusätzliche Angaben:

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland

VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen

Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:

A request for review is inadmissible if more than 15 calendar days have passed since the receipt of the notification from the ordering party indicating a lack of willingness to help with the objection (§160 Par. 3 Clause 1 No. 4 GWB [German Act Against Restraints of Competition]). A request for review is additionally inadmissible if the contract has been awarded before the Vergabekammer (procurement review authority) has informed the ordering party of the request for review (§§ 168 Par. 2 Clause 1, 169 Par. 1 GWB). The award of the contract is possible 15 calendar days after the dispatch of the tenderer information pursuant to § 134 Par. 1 GWB. If the information is sent electronically or via fax, this time period is reduced to ten calendar days (§ 134 Par. 2 GWB). The time period begins on the day after the dispatch of the information by the ordering party; the day on which it is received at the concerned tenderer and applicant is not relevant. The admissibility of a request for review furthermore presupposes that a complaint has been made to the ordering party with regard to the asserted procurement violations within 10 days after knowledge was obtained of it (§ 160 Par. 3 Clause 1 No. 1 GWB). Complaints regarding violations of procurement rules that are apparent on the basis of the announcement must be made to the ordering party before the expiration of the time period named in the announcement for the application or for the tendering (§ 160 Par. 3 Clause 1 No. 1 GWB). Complaints regarding violations of procurement rules that do not become apparent until appearing in the award documents must be made to the ordering party no later than by the expiration of the time period for the application or for the tendering (§ 160 Par. 3 Clause 1 No. 1 GWB).

VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:

10/01/2023

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