Diffusionsrohrofen-System Referenznummer der Bekanntmachung: E_035_360019
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/
Abschnitt II: Gegenstand
Diffusionsrohrofen-System
Diffusionsrohrofen-System
ISE
Micronas (z.Hd. Fraunhofer ISE, Geb 3)
Hans-Bunte-Str. 19
79108 Freiburg
1 Stück Diffusionsrohrofen-System mit Optionen: O 1.8 Heizzonen: eine unabhängige obere und untere Temperaturregelung O 1.16 H2O-Quellen: ein zusätzlicher Wasserverdampfer O 1.18 Abgasmanagement: Kondensatabscheider für die Abluft (des)/der Quarzrohrreaktor(s)/en. O 1.21 Sicherheit der Maschine Optional: Eine unterbrechungsfreie Stromversorgung (USV) O 1.26 Lagerung von Booten sowie manuelle Beladung:sechs Kühlablagen O 1.28 Gasleitungen: H2O aus Wasserverdampfer/Steamer O 1.38 Gasleitungenl: eine zusätzliche Prozessgasleitung O 1.50 Hauptrechnersystem O 1.51 SECS/GEM-Schnittstelle O 2.13 Gasversorgung: Gasversorgungseinheit O 2.16 Farbe: Anlage im Farbton RAL 7038 (grau) O 2.22 Backup-System: Backup-Verfahren O 2.23 einmalige Wartung O 2.23 Wartungsvertrag O 2.24 Zeitschaltfunktion O 2.28 Gase: Abatementsystem O 2.36 Wafergeometrie: Erweiterung/Umkonstruktion O 2.43 MES-Schnittstelle O 2.48 Prozessierbarer Carriertyp O 2.49 Beladung mit Carriern O 2.50 Wechsel und Entnahme von Carriern O 2.53 Beladung der Wafer in die Carrier O 2.59 Aktives Wafertracking
O 1.8 Heizzonen: eine unabhängige obere und untere Temperaturregelung O 1.16 H2O-Quellen: ein zusätzlicher Wasserverdampfer O 1.18 Abgasmanagement: Kondensatabscheider für die Abluft (des)/der Quarzrohrreaktor(s)/en. O 1.21 Sicherheit der Maschine Optional: Eine unterbrechungsfreie Stromversorgung (USV) O 1.26 Lagerung von Booten sowie manuelle Beladung:sechs Kühlablagen O 1.28 Gasleitungen: H2O aus Wasserverdampfer/Steamer O 1.38 Gasleitungenl: eine zusätzliche Prozessgasleitung O 1.50 Hauptrechnersystem O 1.51 SECS/GEM-Schnittstelle O 2.13 Gasversorgung: Gasversorgungseinheit O 2.16 Farbe: Anlage im Farbton RAL 7038 (grau) O 2.22 Backup-System: Backup-Verfahren O 2.23 einmalige Wartung O 2.23 Wartungsvertrag O 2.24 Zeitschaltfunktion O 2.28 Gase: Abatementsystem O 2.36 Wafergeometrie: Erweiterung/Umkonstruktion O 2.43 MES-Schnittstelle O 2.48 Prozessierbarer Carriertyp O 2.49 Beladung mit Carriern O 2.50 Wechsel und Entnahme von Carriern O 2.53 Beladung der Wafer in die Carrier O 2.59 Aktives Wafertracking
Abschnitt IV: Verfahren
- Die Bauleistungen/Lieferungen/Dienstleistungen können aus folgenden Gründen nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden:
- nicht vorhandener Wettbewerb aus technischen Gründen
Nur das System erfült alle notwendigen Parameter
für die Beschaffung und Anwendung.
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Diffusionsrohrofen-System
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: BLAUBEUREN
NUTS-Code: DE145 Alb-Donau-Kreis
Postleitzahl: 89143
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de